LAM/AMAT等離子刻蝕機 ESC 靜電吸盤 靜電卡盤 E-CHUCK |
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價格:10000 元(人民幣) | 產地:廣東中山市 |
最少起訂量:1個 | 發(fā)貨地:廣東中山市 | |
上架時間:2021-03-22 10:41:16 | 瀏覽量:1794 | |
深圳市天力士機械有限公司
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經(jīng)營模式:其他 | 公司類型:私營有限責任公司 | |
所屬行業(yè):機械部件 | 主要客戶:全國 | |
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聯(lián)系人:李曼 () | 手機:18923335227 |
電話: |
傳真: |
郵箱: | 地址:福永街道立新路金菊花園d棟 |
ESC靜電卡盤系統(tǒng)由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機具有漏電保護、電流過載保護及高壓脈沖保護;靜電吸附單元電極采用高頻導體,表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜,另外一種采用聚酰薄膜覆膜,在保證輸出穩(wěn)定,同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。靜電卡盤系統(tǒng)由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機具有漏電保護、電流過載保護及高壓脈沖保護;靜電吸附單元電極采用高頻導體,表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜,另外一種采用 PI薄膜覆膜,在保證輸出穩(wěn)定,同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。 |
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