堅(jiān)膜固化無(wú)塵烘箱 300度烘箱 百級(jí)潔凈烘箱 無(wú)氧烘箱 |
聯(lián)系人:蔣鑫 (小姐) | 手機(jī):15221744475 |
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郵箱:sale@done-e.com | 地址:上海市滬亭公路71弄35號(hào) |
智能烘箱過(guò)程管理系統(tǒng)由上海旦順實(shí)業(yè)有限公司自主研發(fā),基于TCP/ip協(xié)議,與工廠系統(tǒng)對(duì)接,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化烘烤,過(guò)程管理?刂品奖恪操作簡(jiǎn)單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造,大大提高生產(chǎn)效力!
無(wú)塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking),曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘(Hard baking)等工藝,適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。
烘箱主要參數(shù)介紹:
溫度范圍:室溫+20℃~300/400/500/600℃
規(guī)格尺寸:
型號(hào)
工作尺寸(mm)
功率
COL-1-PC
W450×H350×D450
3.5Kw
COL-2-PC
W450×H700×D450
5.5Kw
均勻度:±1.5%
潔凈等級(jí):Class10 Class100(潔凈度要求可根據(jù)客戶需求配置)
含氧量:<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM (含氧量要求可根據(jù)客戶需求配置)
升溫速度:常溫~+600℃,升溫速率:0~7℃/min,升溫斜率程序可控
降溫速度:降溫斜率程序可控
控制系統(tǒng):PCL+PC工控電腦。
公司名稱:上海旦順實(shí)業(yè)有限公司
業(yè)務(wù)經(jīng)理:蔣鑫; 手機(jī)號(hào):15221744475
24小時(shí)服務(wù)熱線:400-823-8860
公司主頁(yè):www.espec.com.cn
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