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Hakuto 離子刻蝕機 IBE 用于金銅鎳銀鉑等材料微米級刻蝕
Hakuto 離子刻蝕機 IBE 用于金銅鎳銀鉑等材料微米級刻蝕 價格:111  元(人民幣) 產地:日本
最少起訂量:1 發(fā)貨地:本地至全國
上架時間:2020-11-19 11:40:42 瀏覽量:320
伯東企業(yè)(上海)有限公司  
經營模式:代理商 公司類型:外商獨資
所屬行業(yè):真空泵 主要客戶:
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人: (先生) 手機:15201951076
電話: 傳真:
郵箱:marketing@hakuto-vacuum.cn 地址:上海市浦東新區(qū)新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206

詳細介紹

Hakuto 日本原裝設計制造離子刻蝕機 IBE 提供微米級刻蝕 滿足所有材料的刻蝕 即使對磁性材料 金銅鎳銀鉑等金屬及復合半導體材料 這些難刻蝕的材料也能進行微米級刻蝕 .

伯東離子刻蝕機 IBE 組成主要包含真空刻蝕腔體 , 樣品臺 , 離子源等 .

 

其配置如下 

一. 真空腔體

伯東離子刻蝕機 IBE 的真空刻蝕腔體配置的是德國 Pfeiffer 分子泵 .

Pfeiffer 分子泵抽速范圍 10  2700 L/S 轉速最高 90,000 rpm 極限真空最大 1E-11 mbar 能滿足各種各樣真空度要求 .

 

伯東是 Pfeiffer Vacuum 德國普發(fā)真空產品授權代理商 銷售維修普發(fā) Pfeiffer 真空產品已超過 20  .

 

二. 離子源

伯東離子刻蝕機 IBE 配置的美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 考夫曼 離子源 .

可選的離子源包括 

射頻離子源 RFICP380 RFICP220 , RFICP140 , RFICP100 , RFICP40

考夫曼離子源 : KDC160 , KDC100 , KDC75 , KDC40 , KDC10

霍爾離子源 : eH3000 , eH2000 , eH1000 , eH400 , 線性霍爾離子源 eH Linear

 

伯東公司是美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 考夫曼離子源亞洲總代理 .

 

三. 樣品臺

伯東離子刻蝕機 IBE 樣品臺可選直接冷卻 間接冷卻 水冷 , 而且可以 0-90 度旋轉 .

其中基片尺寸大小支持 Φ3 inch , Φ4 inch , Φ5 inch , Φ6 inch , Φ8 inch 等各種尺寸 .

 

伯東離子刻蝕機 IBE 優(yōu)勢 :

伯東離子刻蝕機集全球好設備于一身 , 其性能也是優(yōu)越于市面上絕大部分離子刻蝕機 .

1. 刻蝕材料范圍廣提供微米級刻蝕 , 滿足所有材料的刻蝕即使對黃金 Au ,  Pt , 合金等金屬及半導體材料也能提供最優(yōu)蝕刻

2. 均勻性高 , 高達 ≤±5%

3. 硅片刻蝕率可達 20 nm/min

4. 樣品臺冷卻方式多 , 可選直接冷卻 , 間接冷卻

5. 樣品臺可 0-90 度旋轉

 

伯東離子蝕刻機 IBE 包含小型離子蝕刻用于研究分析和大型離子蝕刻系統(tǒng)用于生產制造 已應用于半導體器件 , 集成電路制造 , 薄膜電路 , 印刷電路 , 手機背板鍍膜 , 手機廣角鏡頭鍍膜等 .

 

伯東離子刻蝕機 IBE 可選型號有 : 20IBE-J , 20IBE-C , 10IBE , 7.5IBE

 

若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 請參考以下聯(lián)絡方式 :

上海伯東 羅先生                               臺灣伯東 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
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