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低溫等離子體技術(shù)處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿游镔|(zhì)或使物質(zhì)轉(zhuǎn)變成低毒低害的物質(zhì)，從而使污染得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev，適當(dāng)控制反應(yīng)條件可以實(shí)現(xiàn)一般情況下難以實(shí)現(xiàn)或速度很慢的化學(xué)反應(yīng)變得快。作為環(huán)境污染處理領(lǐng)域中的一項(xiàng)具有潛在優(yōu)勢的高，等離子體受到了其他地方相關(guān)學(xué)科界的高度關(guān)注。

低溫等離子體技術(shù)再廢氣處理中的應(yīng)用隨著工業(yè)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業(yè)產(chǎn)生的發(fā)揮性廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時(shí)間，還會擴(kuò)散和漂移到較遠(yuǎn)的地方，給環(huán)境帶來嚴(yán)重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產(chǎn)生危險(xiǎn)；另外工業(yè)煙氣的無控制排放使大氣環(huán)境日益惡化，酸雨的危害引起了各國的重視。由于大氣污染而酸化，導(dǎo)致了生態(tài)環(huán)境的破壞，重大災(zāi)難的頻繁發(fā)生，給人類造成了巨大的損失。因此選擇一種經(jīng)濟(jì)、可行性強(qiáng)的處理方法勢在必行。降解揮發(fā)性污染物傳統(tǒng)的處理方法如吸附、吸收、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實(shí)現(xiàn)，而光氧催化降解VOCs有存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上輸條件的限制，具有潛在的優(yōu)勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學(xué)、放電化學(xué)、化學(xué)反應(yīng)工程學(xué)及真空技術(shù)等基礎(chǔ)學(xué)科之上的交叉學(xué)科。因此，能成熟的掌握該技術(shù)的單位非常少。大部分宣傳采用低溫等離子技術(shù)處理廢氣的宣傳都不是意義上的低溫等離子廢氣處理技術(shù)。