| Impedans射頻功率計(jì)Octiv Poly 2.0 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：愛爾蘭 |
| 最少起訂量：1件 | 發(fā)貨地：上海 | |
| 上架時(shí)間：2025-07-14 09:56:55 | 瀏覽量：22 | |
上海歐橋電子科技發(fā)展有限公司
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Impedans射頻功率計(jì)Octiv Poly 2.0 品牌：Impedans 型號(hào)：Octiv Poly 2.0  公司介紹： Impedans是一家愛爾蘭的射頻和等離子處理智能傳感器服務(wù)商，主要提供用于射頻和等離子過程監(jiān)控的智能傳感平臺(tái)。其服務(wù)涵蓋多個(gè)領(lǐng)域，包括半導(dǎo)體、真空鍍膜、醫(yī)療器械、硬盤和航空航天等。 Impedans的技術(shù)優(yōu)勢(shì)在于其先進(jìn)的測(cè)量方法和高精度的數(shù)據(jù)采集能力，這使得其在等離子體處理領(lǐng)域具有較高的市場(chǎng)競(jìng)爭力。通過提供高質(zhì)量的傳感器和測(cè)量設(shè)備，Impedans在多個(gè)工業(yè)領(lǐng)域中贏得了良好的聲譽(yù)。  產(chǎn)品介紹： Octiv Poly 2.0 VI探頭是一款多頻在線射頻電壓、電流和相位測(cè)量系統(tǒng)，支持網(wǎng)絡(luò)通信（可提供以太網(wǎng)Web服務(wù)協(xié)議、EtherNet/IP或EtherCAT）。該系統(tǒng)具有1%的準(zhǔn)確度，能夠可靠地實(shí)現(xiàn)腔室間匹配和過程重復(fù)性。其獨(dú)特便捷的外形設(shè)計(jì)，便于進(jìn)行改造以匹配機(jī)箱輸出，從而方便直接進(jìn)行等離子體監(jiān)測(cè)。借助這種先進(jìn)的VI探頭技術(shù)，可以消除產(chǎn)品報(bào)廢事件、端點(diǎn)檢測(cè)錯(cuò)誤和不必要的預(yù)防性維護(hù)等問題。 主要特點(diǎn) 單個(gè)傳感器可選擇5個(gè)頻率，每個(gè)頻率下最多有15個(gè)諧波。 通過我們先進(jìn)的校準(zhǔn)方法，在50Ω和非50Ω負(fù)載阻抗中具有無*比的功率精度（1%的真實(shí)精度）。 傳感器運(yùn)行重復(fù)性（<0.1%），能夠真實(shí)測(cè)量等離子體過程漂移。 實(shí)時(shí)史密斯圓圖視圖，阻抗精度與離線矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀相當(dāng)。 頻率跟蹤標(biāo)準(zhǔn)為基頻的±10%，可定制用于互調(diào)頻率監(jiān)測(cè)。 卓越的脈沖射頻能力，具有實(shí)時(shí)脈沖頻率和占空比監(jiān)測(cè)以及“時(shí)間分辨”模式。 USB、以太網(wǎng)、EtherCAT和串行通信協(xié)議，具有易于使用的API進(jìn)行集成。 主要優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用 使用等離子體阻抗監(jiān)測(cè)（PIM）和諧波譜技術(shù)清潔和蝕刻端點(diǎn)功能。 證明了對(duì)<1%開口面積比的蝕刻終點(diǎn)的檢測(cè)，與多元OES終點(diǎn)檢測(cè)器相比，具有更高的靈敏度。 檢測(cè)晶圓放置問題、漏氣、跨工藝污染和許多其他常見的等離子體故障。 測(cè)量整個(gè)腔室的健康狀況，無需進(jìn)行不必要的預(yù)防性維護(hù)。 通過實(shí)現(xiàn)故障檢測(cè)和早期干預(yù)，成本效益顯著。      相關(guān)型號(hào)： Octiv Mono 2.0 Octiv Poly 2.0 Octiv Suite 2.0 |
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