1、美國MKS控制器產品介紹
使用DELTA?流量比控制器(FRC)，優(yōu)化過程性能變得更加容易。DELTA?流量比控制器(FRC)廣泛用于各種分流應用，例如蝕刻、剝離和PECVD，使用戶能夠將氣體或氣體混合物分配到工藝室的不同區(qū)域。DELTA?II流量比例控制器以用戶的比例分配和控制混合工藝氣體流向工藝室內的多個腔室或區(qū)域，從而最大限度地提高工藝均勻性和可重復性。它可用于EtherCAT?或DeviceNet?通信。
2、美國MKS控制器產品特征
分配和控制流向兩個腔室或區(qū)域的工藝氣體
用于在運行期間監(jiān)控設備的嵌入式以太網
模擬、EtherCAT?或DeviceNet?通信
更寬的動態(tài)控制范圍，可實現(xiàn)低至5%滿量程流量的比率控制
獲得的控制算法可實現(xiàn)更快的響應比設定點
使用標準網絡瀏覽器-無需特殊軟件
3、美國MKS控制器產品優(yōu)勢
DELTA II具有更寬的動態(tài)比率控制范圍，更能適應不同的刀具和工藝條件。MKS開發(fā)了一種獨特的正在申請的比率控制算法，使比率和流量響應時間小于兩(2)秒。這種控制算法還支持20比1的比率控制范圍，是其行業(yè)領先前身的兩倍多。DELTA II的診斷功能允許用戶在現(xiàn)場檢查DELTA的性能，通過減少“未發(fā)現(xiàn)問題”設備的移除來降低成本。此功能通過通過設備的以太網端口訪問的Web瀏覽器實用程序啟用。該實用程序使用標準的網絡瀏覽器——不需要特殊軟件。訪問時，可通過設備高亮LED顯示屏訪問IP地址。
4、美國MKS控制器產品信息
DELTA II廣泛用于各種分流應用，如蝕刻、剝離和CVD，使用戶能夠將氣體或氣體混合物分配到工藝室中的兩個不同區(qū)域。向DELTA II發(fā)送氣體（或任何混合物）和比率設定點，DELTA II將自動且精確地將氣體分成兩個獨立的輸出通道。吞吐量和過程控制一直是半導體器件制造商的關鍵。隨著300毫米晶圓和雙工藝室的出現(xiàn)，控制氣流分布的新方法變得越來越需要。300毫米晶圓加工通常需要對整個晶圓的氣體分布進行可調控制，以提供更好的工藝均勻性。雙工藝室需要適當?shù)臍怏w分布，以便與單源氣體面板的室匹配。
5、美國MKS控制器產品技術數(shù)據(jù)
最大工作出口壓力：200托
最大允許出口壓差：50托（Q1和Q2之間）
正常工作壓差：<150托（對于10000/10000，<450托）（N2）
證明壓力：1000磅/平方英寸
爆破壓力：1500磅/平方英寸
輸入流量范圍：每個通道的5到100%滿量程額定值（N2等效）
比率控制范圍：1:1到20:1和20:1到1:1
比率精度：比率設定點的2%
典型精度：比率設定點的0.3%
比率重復性和再現(xiàn)性：通道滿量程的0.02%
零溫度系數(shù)：0.05%滿量程/°C
跨度溫度系數(shù)：0.08%讀數(shù)/°C
熱身時間：30分鐘
工作溫度：10至40°C
6、美國MKS控制器產品部分型號
美國MKS控制器DELTA?IV 4
美國MKS控制器DELTA?II
美國MKS控制器DLT2A2
美國MKS控制器DLT2B
美國MKS控制器DLT2A1
美國MKS控制器DLT3B
美國MKS控制器DLTNA3
Lovato? ? TM ST
AII? GPR12-333PPM 02 SENSOR,S/N:504342747
RELECO? QR-C C7-A20，DC110V，3.6A
STI? DT-S11F1S0
Schenck? ? RTN 1t C3
SOLARTRON? OD4
BD? 壓力傳感器DMP331-111-2001-1-3-100-300-1-000
Dynisco? TPT4634-35MPA-6/18
Turck? ? ?BL20-E-8AI-U/I-4PT/NI/ET
SCHMALZ? 電纜10.06.02.00031
Dynisco? MDT422F-1/2-50-15/110-A
Parker? 電磁閥D1VW001CNJEE
BERU? ?點火電極ZE14-12? ?長度88.94mm
SOR? ?311581-ND1703
MAGTROL? ?稱重傳感器LB220-011/001
HYDAC? ?溢流閥DB12120A-01X-250V
TWK 電子式接觸器ER40-24DC-300DC-A03/24VDC
Prominent普羅名特? CNPb1000PVT200AC1D
Dynisco? ?傳感器TPT4636-5M-6/18-RTD1
VICKERS? ? DGMA-3-C1-10
SKF? ?軸承加熱器TWIM15/230V
MTS? RH-M-0350M-D63-1-P102
HYDAC 壓力傳感器HAD 3840-A-350-190帶插頭停產替代HDA4842-A-350-416
BAUMER? ?編碼器 ITD70A4Y7 1024IMP 8~30VDC
KROM? VK 80F10T5A6L3DVZ
Dynisco? ? 傳感器NP-465XL-1/2? 50mpa
DOLD? ?安全繼電器? ?LG5925.48 3NO+1NC
SOCOMEC? Stromwandler 200A TCB 44-50 Kl. 0,5 192T5020
HYDAC? ? 壓力開關VD 5D.0/-W-LED 04/20 DC24V 可能是VD5D.0/-V-LED
AI-TEK? 轉速傳感器70085-1010-412
IFM? ?接近開關IB0016? IBE2020-FBOA
HYDAC? ?壓力傳感器HDA4445-A-250-000
IFM? ?開關 6-EFECTOR; IN5207 IN-2002- FRKG; U:10… 55V DC I:400MA SCP T26; D45127
LINCOLN林肯? ?超聲波液位開關 SONAR-SENSOR BPU1-V375-L800 200? 664-34009-2
WOERNER? ? ?液位開關KFA-A/F/0/N/056C/Z3N/250
DYNISCO? ?壓力傳感器? 2242NAOOM21CEFFBCAZZB628
TR? ? CXS65S-00002
LEUZE? AMS 304i 200 Part number:50113679
HYDAC? ?數(shù)顯溫度控制器ETS388-5-150-000
高諾斯 Crouzet? ?備件號： 84872057? ?65-260V? ?升級為84872.152
Weidmuller? ?浪涌保護器1352900000 VPU II 4 400V/40KA? ? 升級為VPU II 4 R 400
FESTO? 10P-14-8C-MP-N-Y-C3JMJJM+GQC
Bently? 探頭330103-00-07-10-02-00
HIROSAWA/IKURA? THA1-7556X-TP-N/O WITH SENSOR AJC017-N.O., AC200V 50/60HZ FOR VS-520B
HS-COOLER冷卻器? KS25-BCV-421 L2400
MOELLER? ? 輔助繼電器DILAC-40 DC220V，帶底座
ROLAND? SCI20S-GG 40米
SIEMENS西門子? CE-0085AP0001
BALLUFF巴魯夫? ?位移傳感器BTL7-S573-M1800-8-S32
NORGREN? 減壓閥B38P 444 M1MA
耐震壓力表國產? ?壓力范圍：0～5000psi，壓力等級：1.6，壓力表接頭：1/4″ NPTM，安裝形式：軸向偏心嵌裝式，帶邊；表盤直徑：150mm，充液防震，材質：304不銹鋼
CEAG? ? ?插頭GHG5117306R0001? 220v
SUN? ? CBCA-LIN-EBA 30-105 BAR/503 697報價型號CBCA-LIN-EBA
BRAUN? ?D124,1S2U2M? ? ?NO.:1406040019
Rexroth 4WE 10 D50/OFEG24N9K4/M
schmersal? ? ?端門行程開關ZIR236-11z-M20
Kubler? ?編碼器? 8.5020.0A40.1024.S046.EX? ?No.:2116704468
MTS? ?RHM0280MR031A01
PIZZATO? ? VF L56
SOLARTRON? AX 2 5S
REXROTH? ?位置傳感器 GIV50-11
HYDAC? ?VD2LZ.1/-BO
BD 壓力傳感器DMP331-110-1001-1-3-100-300-1-000
VERSA? EZM-3143-4-Z-HC-110V50-120V60
ROSEEMOUNT? 3051TG3A2B21AB4E 8M5HR5,0-10.3bar
TWK? CRE58-4096G24CE01
意大利carpanelll? ?電機? B5? 報 價型號? Drehstrommotor Typ 63L/4a
EUROTHERM? ?EPOWER/4PH-400A/600V/230V/×××/×××/×××/OO/Y2/
P+F? ?光電開關\漫射式\RLK31-8-2500-IR/31/115\PNP
IPF? ? 傳感器OR170120? ?10-30VDC 200mA? Sn:4m
STAUBLI? ? RMI209.12.7102/JV
RELECO? ?繼電器C4-A40 DX/DC 24V
S+B VCS09611ERT8P2+1*OGF6B
DESTACO迪斯泰克? ?8MB-056-1 磁性開關支架
ASCO? SCE272A017MS? 230/50
IMAV? ?閥RVPS-10N-C-0-50
Bauer? ? 電機BS40-62U/D08MA4-G-S/ESX010A9
Bihl+Wiedemann? ? 模塊BWU 2544
Honeywell RA890G1229
SAUER? DANFOSS? ? GRL074BLS2525NNN3 S1N2A1NAAANNNNNN
Voith? ?附件 Schmelzsicherungsschraube Set X1 - M18 bestehend aus: 5 Schmelzsicherungsschrauben 2? Dichtring für Füllschraube
SENSOR ENDRESS+HAUSER? FTM20-AG42A
Hanovia? 130027-2001-C
DESTACO? ?8EA-030-1
HYDAC? ? 溫度控制器ETS3868-5-000-000-30? ? ? ?150℃? DC24V
E-T-A? ?繼電器 ESS20-003-DC24V 10A 4個起訂
HENGSTLER? ?0547884
RHM1720MK021S1G6100
SUN? ?CWIA-LHN-QCXS
Phoenix? ?圓形連接器SACC-M12MSB-5CON-PG9 SH AU
SKF? ? PPU-5 閥
Rexroth? A4FM22/32W-NSCO2
IPF? 接近開關IB120155 10-35VDC 120mA
Rexroth? ?換向閥4WEH10J4X/6EG24N9TS2K4
德國Krom schroder? ? 點火控制器 BCU480-5/3/1LW3GBD2? 已停產，升級型號 88610638 BCU480-5/3/1LW3GBD2
SICK? 障礙物傳感器TIM320-1031000
ECKERLE? ? EIPH2-016RP30-1X 包括附件（6000200234）
MOOG? D661-6573C G08JOAA4VSX2HA
DESTACO迪斯泰克? ?8MB-055-1 開關總成(帶支架)JB報價只是磁帶KASSETTE
BERMAD? IR-3"-110-Y-P-FF-UC-9DS-PP-X
RHM1200MP101S1G8100
IPF? ?接近開關 IB080150
MTS? ?EPS0270MD601AO
美國warner? ? 制動器TB5000IM? ? ? 24VDC? ? ?23w
HYDAC? EDS-346-2-250-000
日本豐興TOYOOKI? ? HRD3-BG3-1-04B-WYD2
CAREL? EVD0000E20控制器
?MTS P-M-0700M-D53-A-P102
Rexroth? ?電磁換向閥4WE6YX6X/EW220N9K4
Bently? ?瓦振傳感器9200-01-05-10-00
VERSA? EZM-3143-4-Z-HC-A120 A120 = 120V60Hz
ECKERLE愛珂勒? ?齒輪油泵? 890-E1-0800-RS2-C503
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