| 半導體制造專用｜里其樂防靜電葉片通過SEMI認證，杜絕微塵污染 |
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價格：132 元(人民幣) | 產地：廣東東莞市 |
| 最少起訂量：1套 | 發(fā)貨地：本地至全國 | |
| 上架時間：2025-04-09 17:21:11 | 瀏覽量：60 | |
東莞市飛粵真空科技有限公司
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| 經營模式：經銷商 | 公司類型：私營有限責任公司 | |
| 所屬行業(yè)：真空泵 | 主要客戶：全國 | |
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半導體制造專用｜里其樂防靜電葉片通過SEMI認證，杜絕微塵污染
——專為晶圓級潔凈環(huán)境設計，助力半導體良率與產能雙提升 半導體真空系統(tǒng)的核心挑戰(zhàn)：微粒污染與靜電吸附
里其樂防靜電葉片：從材料到認證的全鏈路潔凈方案 （技術解析結合SEMI認證要求，強化合規(guī)性價值） 防靜電核心技術：雙重電荷消散機制 ? 導電碳纖維基體： - 基材嵌入納米碳管網絡，體積電阻率穩(wěn)定在10?-10?Ω·cm（SEMI標準：＜10?Ω·cm） - 表面靜電消散時間＜0.5秒（ESD S20.20標準要求＜2秒） ? 離子注入涂層： - 采用等離子體輔助沉積（PECVD）工藝，形成類金剛石碳（DLC）保護層 - 表面電阻率≤10?Ω/sq，摩擦起電壓＜5V（普通葉片＞2000V） SEMI認證的三大核心突破 ? 材料潔凈度： - 通過SEMI F47-0308氣體兼容性測試，耐蝕性覆蓋Cl?、CF?等蝕刻氣體 - 總揮發(fā)性有機物（TVOC）釋放量＜1μg/g，符合SEMI E49-1103標準 ? 微？刂疲 - 葉片表面經磁流變拋光（MRF），粗糙度Ra≤0.05μm - 動態(tài)運行中微粒釋放量＜5個/分鐘（0.1μm以上，SEMI E129-1107 Class 0級） ? 長期穩(wěn)定性： - 加速老化測試顯示，1000小時連續(xù)運轉后電阻率波動＜±8% - 通過300次高溫（150℃）-低溫（-40℃）循環(huán)沖擊測試無性能衰減 實測數據：晶圓廠真空系統(tǒng)改造對比 （以頭部客戶案例佐證技術實效） 案例：12英寸邏輯芯片制造車間升級項目 - 原產線痛點： ? 每月因微粒污染導致的晶圓返工率達1.2% ? 真空泵每400小時需停機清潔，年損失產能320小時 -解決方案： ? 替換12臺干泵的里其樂**SEMI-Certified?防靜電葉片 ? 加裝葉片磨損在線監(jiān)測系統(tǒng) 改造后數據：
SEMI認證的深層價值：合規(guī)性保障與成本優(yōu)化 （將認證轉化為企業(yè)經濟效益） 1. 規(guī)避合規(guī)風險 - 滿足臺積電、三星等頭部Foundry的供應商準入要求 - 通過SEMI E142-1107設備數據追溯標準，支持全生命周期質量追溯 2. 綜合成本降低 - 直接節(jié)省：年維護成本下降52%（以月產能3萬片的8英寸廠為例） - 隱性收益： ? 晶圓良率提升0.7%-1.2% ? 減少潔凈室FFU過濾網更換頻率（年節(jié)省耗材成本超80萬元） 專屬技術服務：從認證到落地的全程護航 （強化B2B服務差異化競爭力） - SEMI合規(guī)咨詢：免費提供設備升級合規(guī)性預評估報告 -潔凈室適配測試：48小時出具葉片-設備-工藝匹配驗證數據 - 快速響應網絡： ? 臺灣、韓國、新加坡保稅倉支持4小時極速交付 ? 7×24小時駐廠工程師應急支持    |
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