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Wilo 加熱泵 Para 25-9-87/IPWM1-130 高效部件

擴(kuò)散泵是利用從傘形噴嘴噴出的高速工作介質(zhì)蒸汽射流，攜帶擴(kuò)散到蒸汽射流里的被抽氣體，而實(shí)現(xiàn)抽真空的一種真空泵。

其工作原理是：由電加熱器（電爐）將裝在泵腔（油鍋）內(nèi)的液態(tài)工作介質(zhì)加熱，使其變成蒸汽；蒸汽通過(guò)安裝在泵腔里的泵芯噴嘴高速噴出，形成低密度、高速度的蒸汽射流；

被抽氣體通過(guò)擴(kuò)散進(jìn)入蒸汽射流中，被下一級(jí)蒸汽射流帶走，最后由前級(jí)泵排出，而工作蒸汽到達(dá)水冷的泵壁，冷凝成為液態(tài)沿著泵壁流回油鍋。

在油鍋里重新被加熱變成油蒸汽。這樣周而復(fù)始的工作，形成了擴(kuò)散泵的正常抽氣過(guò)程。

擴(kuò)散泵是依靠高速噴射的油蒸汽氣流來(lái)排氣的，高速運(yùn)動(dòng)的流體內(nèi)部的壓強(qiáng)相對(duì)比較低，所以氣體分子就會(huì)被擴(kuò)散到氣流里，隨著氣流的高速運(yùn)動(dòng)而排出泵外。

擴(kuò)散泵由泵殼，泵芯，泵油加熱裝置和冷凝器組成。泵油經(jīng)過(guò)加熱，達(dá)到沸點(diǎn)以后形成油蒸汽，油蒸汽經(jīng)過(guò)塔型泵芯的幾級(jí)噴口噴射而出，形成幾級(jí)高速噴射的錐型射流。

由于泵殼和前級(jí)管道都是有水冷冷卻的，當(dāng)油蒸汽射流遇到泵殼和前級(jí)管道的冷壁的時(shí)候，油蒸汽就會(huì)還原為液態(tài)的油，回流到泵的底部，經(jīng)過(guò)加熱形成連續(xù)不斷的射流，而氣體分子則經(jīng)過(guò)前級(jí)泵排出真空系統(tǒng)。

擴(kuò)散泵的前級(jí)管道，一般設(shè)有擋油裝置，防止油蒸汽被抽到泵外，起到油氣分離的作用。

為了防止油蒸汽對(duì)高真空端造成污染，一般擴(kuò)散泵的進(jìn)氣口都設(shè)有檔油帽或者水冷冷阱。

為了減輕檔油帽對(duì)抽氣速率的影響，工程師們發(fā)明了凸腔泵。凸腔泵可以增加抽氣面積，增加油蒸汽射流的行程，增大射流的體積，從而增強(qiáng)抽氣效果。

擴(kuò)散泵的抽速跟設(shè)計(jì)有關(guān)，跟泵芯的結(jié)構(gòu)形狀，級(jí)數(shù)，間隙的調(diào)整有關(guān)，還跟使用泵油的種類有關(guān)。一般的說(shuō)，使用飽和蒸汽壓更低的泵油，可以獲得更高的真空度，現(xiàn)在比較普遍使用的是275硅油。

由于擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，真空度高，一般可以達(dá)到十的負(fù)五次方帕。抽速比較大，可以做到上萬(wàn)升，基本上沒(méi)有振動(dòng)，且壽命長(zhǎng)，易于維護(hù)。

由于沒(méi)有運(yùn)動(dòng)部件，偶爾掉入異物也不會(huì)對(duì)擴(kuò)散泵造成機(jī)械性的損傷，所以一經(jīng)問(wèn)世就得到了廣泛的應(yīng)用，尤其能適應(yīng)那些對(duì)油蒸汽不敏感，被抽容器比較大，工作環(huán)境條件比較差的場(chǎng)合，所以受到用戶的青睞。

但是由于擴(kuò)散泵的排氣介質(zhì)是油蒸汽，所以即使安裝了冷阱，也不能完全避免油蒸汽對(duì)真空系統(tǒng)的污染。

擴(kuò)散泵還是高耗能的真空泵，其能耗是同等抽速分子泵的十幾倍。

由于擴(kuò)散泵是在高溫的情況下運(yùn)行，所以突然暴露大氣會(huì)對(duì)泵油造成氧化，導(dǎo)致泵油的報(bào)廢。另外擴(kuò)散泵需要比較長(zhǎng)的加熱啟動(dòng)和關(guān)機(jī)降溫的時(shí)間，一般在一小時(shí)左右，這期間需要不間斷的提供冷卻水。

為了進(jìn)一步提高真空度和降低油蒸汽污染，還可以在進(jìn)氣端的管道上加裝低溫冷阱。

在真空泵的大家族中，擴(kuò)散泵屬于高真空獲得設(shè)備。它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、無(wú)運(yùn)動(dòng)件、噪音很小、使用方便、維護(hù)容易、在高真空段有較大抽速，單位抽速所需制造成本較低等許多優(yōu)點(diǎn)，因此，其應(yīng)用面很廣。

擴(kuò)散泵的主要缺點(diǎn)是返油、能耗高、熱效率低。提高加熱效率、降低能耗、降低返油率是多少年來(lái)擴(kuò)散泵需要解決而至今尚未完全解決的主要問(wèn)題。

擴(kuò)散泵的分類方法比較簡(jiǎn)單：

按使用的工作液可以分為油擴(kuò)散泵和汞擴(kuò)散泵；

按制造擴(kuò)散泵的材料可以分為金屬擴(kuò)散泵和玻璃擴(kuò)散泵；

按泵體形狀可以分為直腔和凸腔擴(kuò)散泵；

按擴(kuò)散泵的工作范圍可以分為高真空、超高真空擴(kuò)散泵和增擴(kuò)泵（不同于增壓泵）；

按加熱器放置位置，可以分為內(nèi)加熱泵和外加熱泵，以泵殼為界，放在泵殼內(nèi)的為內(nèi)加熱器，放在泵殼外的為外加熱器。

擴(kuò)散泵的使用主要集中在：真空鍍膜設(shè)備、真空冶金設(shè)備、真空熱處理設(shè)備、電子產(chǎn)品排氣設(shè)備等，在高真空大抽速的需求場(chǎng)合擴(kuò)散泵是不可替代的產(chǎn)品。用戶希望擴(kuò)散泵性能優(yōu)良、運(yùn)行可靠、價(jià)格低廉、操作簡(jiǎn)單、維修方便。