ASML 4022 431 0150
ASML 4022 431 0150設(shè)備簡(jiǎn)介及參數(shù)解析
一、產(chǎn)品概述
寧德潤(rùn)恒自動(dòng)化專注于半導(dǎo)體制造設(shè)備的供應(yīng)與技術(shù)支持，其代理的ASML 4022 431 0150型號(hào)設(shè)備為光刻系統(tǒng)關(guān)鍵組件。該組件主要用于先進(jìn)半導(dǎo)體工藝中的晶圓處理環(huán)節(jié)，具備能、穩(wěn)定性及定制化適配能力，適用于芯片制造、封裝測(cè)試等場(chǎng)景。
二、核心參數(shù)解析
1. 機(jī)械參數(shù)
○ 尺寸規(guī)格：450mm（長(zhǎng)）x 320mm（寬）x 280mm（高）
○ 重量：約35kg（含模塊組件）
○ 材質(zhì)：鋁合金框架+陶瓷涂層（抗腐蝕）
○ 安裝接口：兼容ASML標(biāo)準(zhǔn)光刻機(jī)平臺(tái)（需適配對(duì)應(yīng)型號(hào)）
2. 電氣性能
○ 電壓范圍：DC 24V±5%
○ 功率消耗：峰值120W（運(yùn)行狀態(tài)）
○ 信號(hào)接口：Ethernet/IP + OPC UA協(xié)議
○ 控制精度：±0.1μm（位移控制）
3. 技術(shù)特性
○ 功能模塊：集成晶圓定位、光學(xué)校準(zhǔn)及自動(dòng)檢測(cè)單元
○ 工作溫度：20°C~30°C（建議恒溫環(huán)境）
○ 濕度要求：≤40% RH（非凝結(jié)）
○ 壽命周期：≥10萬(wàn)次循環(huán)（標(biāo)準(zhǔn)工況）
三、應(yīng)用場(chǎng)景與優(yōu)勢(shì)
● 適用工藝：適用于7nm及以下節(jié)點(diǎn)的光刻工藝，支持多晶圓批次處理。
● 效率提升：通過(guò)自動(dòng)化校準(zhǔn)與快速切換機(jī)制，減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間。
● 兼容性：可與ASML主流光刻系統(tǒng)（如TWINSCAN系列）無(wú)縫對(duì)接，降低集成成本。
● 維護(hù)特性：模塊化設(shè)計(jì)支持熱插拔維護(hù)，故障診斷系統(tǒng)提供實(shí)時(shí)狀態(tài)監(jiān)控。
四、注意事項(xiàng)
● 安裝時(shí)需確保潔凈室等級(jí)ISO 5（Class 100），避免顆粒物污染。
● 定期校準(zhǔn)建議每5000小時(shí)進(jìn)行一次，以保證精度穩(wěn)定性。
● 定制化參數(shù)（如接口協(xié)議）可根據(jù)客戶需求調(diào)整，需提前與技術(shù)支持確認(rèn)。
結(jié)語(yǔ)
ASML 4022 431 0150作為半導(dǎo)體制造的核心組件，通過(guò)其與穩(wěn)定性助力先進(jìn)芯片生產(chǎn)。寧德潤(rùn)恒自動(dòng)化提供該設(shè)備的供應(yīng)及配套技術(shù)支持，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈升級(jí)提供可靠硬件基礎(chǔ)。
ASML 4022 431 0150
聯(lián)系人：吳經(jīng)理 手機(jī)：18596688429（微信同號(hào)）郵箱：841825244@qq.com
在線咨詢 
