ASML 4022.654.87422
ASML 4022.654.87422技術參數與特性解析
一、產品概述
ASML 4022.654.87422 是由的半導體設備制造商ASML研發(fā)的自動化設備,寧德潤恒自動化作為其授權供應商,為中國市場提供該設備的銷售與技術支持。該設備專為半導體制造工藝設計,適用于晶圓檢測、光刻機校準及微電子加工等關鍵環(huán)節(jié),具備、穩(wěn)定及智能化操作特性。
二、核心技術參數
1. 型號與尺寸
○ 型號:ASML 4022.654.87422
○ 設備尺寸:2200mm × 1800mm × 1500mm(長 × 寬 × 高)
○ 重量:約3.2噸
2. 性能參數
○ 分辨率:≤0.5μm(納米級精度)
○ 處理速度:≥200片/小時(12英寸晶圓)
○ 重復性誤差:±0.1μm
○ 兼容晶圓尺寸:8英寸/12英寸
3. 系統(tǒng)配置
○ 控制系統(tǒng):ASML自主研發(fā)的AIoT智能控制平臺(支持遠程監(jiān)控與數據交互)
○ 驅動系統(tǒng):伺服電機+線性導軌組合
○ 檢測模塊:集成光學傳感器與多點校準算法
三、應用領域與優(yōu)勢
● 半導體制造:適用于先進邏輯芯片與存儲器的光刻工序,提升良品率。
● 自動化集成:兼容SEMI標準接口,可無縫接入現(xiàn)有產線系統(tǒng)。
● 智能維護:內置預測性維護算法,實時診斷設備狀態(tài),降低停機風險。
● 環(huán)境適應性:支持Class 10潔凈室標準,工作溫度范圍:20±2°C。
四、技術亮點
1. 雙光束校準技術:通過雙波長光源同步校準,減少光學誤差。
2. 自適應壓力控制:動態(tài)調整機械臂壓力,保護晶圓表面完整性。
3. 模塊化設計:關鍵組件可快速更換,維護周期縮短30%。
ASML 4022.654.87422
聯(lián)系人:吳經理 手機:18596688429(微信同號)郵箱:841825244@qq.com