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ASML 4022.472.37741

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ASML 4022.472.37741

：技術(shù)參數(shù)與性能解析

在現(xiàn)代半導體制造領(lǐng)域，光刻技術(shù)是芯片生產(chǎn)過程中的核心環(huán)節(jié)。ASML作為全球領(lǐng)先的光刻設備供應商，其產(chǎn)品一直備受關(guān)注。本文將詳細介紹ASML 4022.472.37741這一型號設備的技術(shù)參數(shù)和性能特點，幫助讀者全面了解其優(yōu)勢與應用。

基本信息

ASML 4022.472.37741是一款高精度光刻設備，適用于先進集成電路制造。該設備采用深紫外（DUV）光源技術(shù)，支持多種曝光模式，能夠滿足不同工藝節(jié)點的需求。其型號中的“4022”代表產(chǎn)品系列，“472”指示具體型號，而“37741”則是設備的序列號。

技術(shù)參數(shù)

1.

光源系統(tǒng)：

●

光源類型：深紫外（DUV）光源

●

波長范圍：193nm

●

光源功率：≥200W

●

光源穩(wěn)定性：≤0.1%/小時

2.

曝光系統(tǒng)：

●

曝光模式：步進掃描、步進曝光

●

分辨率：≤38nm

●

套刻精度：≤2nm

●

曝光場尺寸：26mm x 33mm

3.

工作臺系統(tǒng)：

●

工作臺類型：氣浮式

●

移動速度：≥500mm/s

●

定位精度：≤1nm

●

重復定位精度：≤0.5nm

4.

掩模臺系統(tǒng)：

●

掩模尺寸：6英寸、8英寸

●

定位精度：≤0.5nm

●

重復定位精度：≤0.25nm

5.

其他關(guān)鍵參數(shù)：

●

生產(chǎn)效率：≥200wph（晶圓每小時）

●

設備尺寸：約10m x 8m x 4m（長x寬x高）

●

重量：約50噸

●

電力需求：約500kW

性能特點

1.

高精度曝光：ASML 4022.472.37741通過先進的光學系統(tǒng)和精密的工作臺控制，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級的分辨率和套刻精度，確保芯片制造的極高精度要求。

2.

高效生產(chǎn)：該設備具備高速移動和定位能力，生產(chǎn)效率高達200wph，顯著提升芯片制造的生產(chǎn)效率。

3.

穩(wěn)定性與可靠性：ASML 4022.472.37741的光源系統(tǒng)和工作臺系統(tǒng)均具備高穩(wěn)定性，確保長時間運行的可靠性和一致性。

4.

靈活性：支持多種曝光模式和掩模尺寸，能夠適應不同工藝節(jié)點和芯片設計的需求。

應用領(lǐng)域

ASML 4022.472.37741廣泛應用于邏輯芯片、存儲芯片等高端集成電路的制造過程中。其高精度和高效生產(chǎn)特性，使得該設備成為半導體行業(yè)中的關(guān)鍵設備之一。特別是在7nm及以下工藝節(jié)點的芯片制造中，ASML 4022.472.37741發(fā)揮了重要作用。

結(jié)語

ASML 4022.472.37741憑借其卓越的技術(shù)參數(shù)和性能特點，在全球半導體制造領(lǐng)域占據(jù)重要地位。通過深入了解這一設備的技術(shù)細節(jié)和應用場景，我們可以更好地認識其在現(xiàn)代芯片制造中的不可或缺的作用。

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ASML 4022.472.37741

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