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ASML 4022.484.35271
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寧德潤恒自動化設(shè)備有限公司  
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詳細(xì)介紹

ASML 4022.484.35271

ASML 4022.484.35271

參數(shù)詳解

ASML 4022.484.35271是一款先進(jìn)的光刻設(shè)備,專為半導(dǎo)體制造而設(shè)計。以下是該設(shè)備的詳細(xì)參數(shù)介紹,幫助用戶全面了解其性能與特點。

基本參數(shù)

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型號: ASML 4022.484.35271
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類型: 光刻機
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制造商: ASML(荷蘭)
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應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體晶圓制造

技術(shù)規(guī)格

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光源: 極紫外(EUV)光源,波長13.5納米,提供更高的分辨率和更低的缺陷率。
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數(shù)值孔徑(NA): 高達(dá)0.33,確保高精度的圖案轉(zhuǎn)移。
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分辨率: 支持7納米及以下工藝節(jié)點,滿足先進(jìn)芯片制造的需求。
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套刻精度: 小于2納米,保障多層圖案的精確對準(zhǔn)。
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生產(chǎn)效率: 每小時可處理125片晶圓,提高生產(chǎn)線的整體效率。

系統(tǒng)配置

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控制系統(tǒng): 采用先進(jìn)的自動化控制軟件,支持高速數(shù)據(jù)處理和實時監(jiān)控。
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對準(zhǔn)系統(tǒng): 高精度對準(zhǔn)系統(tǒng),確保晶圓在曝光過程中的精確對位。
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鏡頭系統(tǒng): 高折射率鏡頭,優(yōu)化光路設(shè)計,減少光學(xué)畸變。
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冷卻系統(tǒng): 高效冷卻系統(tǒng),維持設(shè)備穩(wěn)定運行,延長使用壽命。

尺寸與重量

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設(shè)備尺寸: 約長10米,寬5米,高3米(具體尺寸可能因配置略有不同)
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重量: 約180噸,需要專門的運輸和安裝設(shè)備。

電力與環(huán)境要求

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電力需求: 約2兆瓦,需配備大功率電力供應(yīng)系統(tǒng)。
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溫度控制: 運行環(huán)境溫度需保持在20°C±1°C,以確保設(shè)備精度。
● 
濕度控制: 相對濕度應(yīng)保持在40%至60%之間,防止靜電和腐蝕。

安全與維護(hù)

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安全特性: 配備多重安全防護(hù)系統(tǒng),包括緊急停止按鈕、安全防護(hù)欄和自動監(jiān)控系統(tǒng),確保操作人員安全。
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維護(hù)要求: 定期維護(hù)和校準(zhǔn),建議由ASML認(rèn)證的技術(shù)人員進(jìn)行,以保證設(shè)備的運行狀態(tài)。

兼容性與擴展性

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兼容性: 支持多種晶圓尺寸,包括300毫米和200毫米,適用于不同生產(chǎn)需求。
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擴展性: 模塊化設(shè)計,便于未來升級和功能擴展,適應(yīng)技術(shù)進(jìn)步和市場變化。
ASML 4022.484.35271憑借其卓越的性能和先進(jìn)的技術(shù),成為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的重要設(shè)備,助力芯片制造商實現(xiàn)更高的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。通過詳細(xì)了解其參數(shù),用戶可以更好地評估和選擇適合自身生產(chǎn)需求的設(shè)備配置。
聯(lián)系人:吳經(jīng)理 手機:18596688429(微信同號)郵箱:841825244@qq.com


ASML 4022.484.35271



























































































































































































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