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規(guī)格型號

CX-3/100

CX-3/160

CX-1G

粗糙度測量

評定參數(shù)：

Ra Ry Rz Rt Rq Rp Rv Rmax S Sm tp

圖形放大倍率

10，20，50，100，200，500，1000，2000，5000，10000，20000，50000，100000，200000，500000或自動

評定長度

Ln:  自動獲取5L或任意選擇長度

取樣長度

L:  0.08 ,0.25, 0.8, 2.5mm

儀器評定取樣

2000-100000點

天然金剛石觸針

標(biāo)準(zhǔn)型  測針高度;12mm小孔型 測針高度5mm
觸針半徑：2um,   觸針靜態(tài)壓力0.004N

驅(qū)動箱的滑行速度

0.5 mm/sec或2mm/sec

測量范圍：

Ra 0.01μm-10μm

Ra0.01μm-10μm

Ra 0.01μm-10μm

觸針位移：

±500μm

±500μm

±500μm

分 辯 率：

0.001μm

0.001μm

0.001μm

示值誤差：

≤3%±5nm

≤3%±5nm

≤3%±5nm

輪廓測量

形狀測量功能

要素：點、線、頂、谷、交點、接點、中線。分析：坐標(biāo)差、距離、角度、半徑、輪廓度等。

形狀圖形放大倍率

10，20，50，100，200，500，1000，2000，5000，10000，20000，50000，100000，200000，500000或自動

觸針針尖半徑

2um       （探針可根據(jù)客戶需求定制）

觸針針尖角度

長針12度，短針60度 （探針可根據(jù)客戶需求定制）

測力

0.01-0.02N

觸針長度

30mm和12 mm（加長探針可根據(jù)客戶需求定制）

使用范圍：

X:0-100mm Z:0-450mm

X:0-160mm Z:0-550mm

x0-100mm, z 0-300mm

測量范圍：

X:0-100mm Z:±3、±6、±10

X:0-160mm Z:±6、±10、±15

x0-100mm, z =±6mm

分 辯 率：

0.001μm、0.1μm

0.001μm、0.1μm

0.001mm,0.1mm

半徑誤差：

0.1% - 0.8%

0.1% - 0.8%

1%-0.2%

選購件

可選測量工件大高度：600mm （非標(biāo)，可根據(jù)客戶需求定制）

凈 重

約70Kg

注：輪廓測量范圍分別有±3mm,±6mm,±15mm,三種可選。