AD12英寸噴淋顯影系統(tǒng)德國SUSS MicroTec |
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價格:1000 元(人民幣) | 產(chǎn)地:本地 |
最少起訂量:1臺 | 發(fā)貨地:深圳 | |
上架時間:2025-01-03 10:03:26 | 瀏覽量:5 | |
深圳市現(xiàn)代豪方儀器儀表科技有限公司
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經(jīng)營模式:代理商 | 公司類型:私營有限責(zé)任公司 | |
所屬行業(yè):傳感器、敏感元器件 | 主要客戶:電子廠,機(jī)械廠,電廠,化工廠,礦場,冶金廠等 | |
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聯(lián)系人:業(yè)務(wù)經(jīng)理 (先生) | 手機(jī):13246682860 |
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代理德國蘇斯微SUSS MicroTec噴墨打印機(jī)、涂膠機(jī)與顯影機(jī)、光刻機(jī)、貼片機(jī)、俺膜機(jī) 詳詢請致電:吳工 132,4667.5433 ![]() AD12英寸噴淋顯影系統(tǒng) AD12系統(tǒng)可以滿足所有最新的噴淋顯影技術(shù)的需求,最大可用于直徑12英寸的圓片和9英寸×9英寸的方形基片和掩模。 也可以選裝晶圓清洗模塊。 亮點(diǎn): 憑借多樣的噴液技術(shù),在工藝通用性方面表現(xiàn)出色 專為水基工藝而設(shè)計 高安全性標(biāo)準(zhǔn) 介紹: 一、卓越的靈活性 AD12通過使用優(yōu)化的卡盤能夠處理許多不同種類的基材,從而展示了其多功能性。即使是脆弱的基材(如InP、GaAs)也能被安全地處理。特殊的工具和廣泛的易于調(diào)整的工藝參數(shù)使AD12適用于許多涉及水介質(zhì)的工藝應(yīng)用。由于能夠?qū)?shù)進(jìn)行編程,如步進(jìn)時間、旋轉(zhuǎn)速度、加速和減速、點(diǎn)膠臂位置和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動,該系統(tǒng)可以優(yōu)化工藝流程,從而獲得可重復(fù)的、穩(wěn)定的工藝結(jié)果。AD12配備了SUSS MicroTec公司先進(jìn)的點(diǎn)膠技術(shù),有效地支持開發(fā)和清洗。 二、復(fù)雜的噴點(diǎn)技術(shù) AD12為不同的工藝需求提供了廣泛的噴點(diǎn)技術(shù)。可以運(yùn)行多種工藝:從簡單的水坑或噴霧顯影,到需要浸泡和最后沖洗的水坑點(diǎn)膠,再到需要高壓將抗蝕劑和金屬升起的升華。上述所有的噴點(diǎn)技術(shù)都可以在AD12的噴點(diǎn)臂上配置。 三、智能溶劑型介質(zhì)系統(tǒng) AD12是為處理水基介質(zhì)的特殊需求而定制的。所有與工藝化學(xué)品接觸的部件都由不易受影響的材料制成。排水口可以連接到室內(nèi)排水口或廢物罐。 介質(zhì)被安全地儲存在配備有排氣接口的介質(zhì)庫中,并由滲漏檢測器加以保護(hù)。流量控制系統(tǒng)和壓力調(diào)節(jié)器管理介質(zhì)。可以選擇控制介質(zhì)溫度,以確保工藝效果。可以安裝介質(zhì)的再循環(huán)系統(tǒng),以減少整個介質(zhì)的消耗。 四、操作簡單、安全
德國SUSS MicroTec主要產(chǎn)品:
韓國AUTOFLOW: |
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