ACS200 Gen3TE涂膠顯影機(jī)SUSS MicroTec |
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價格: 元(人民幣) | 產(chǎn)地:本地 |
最少起訂量:1臺 | 發(fā)貨地:深圳 | |
上架時間:2025-01-03 09:46:01 | 瀏覽量:10 | |
深圳市現(xiàn)代豪方儀器儀表科技有限公司
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經(jīng)營模式:代理商 | 公司類型:私營有限責(zé)任公司 | |
所屬行業(yè):傳感器、敏感元器件 | 主要客戶:電子廠,機(jī)械廠,電廠,化工廠,礦場,冶金廠等 | |
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聯(lián)系人:業(yè)務(wù)經(jīng)理 (先生) | 手機(jī):13246682860 |
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代理德國蘇斯微SUSS MicroTec噴墨打印機(jī)、涂膠機(jī)與顯影機(jī)、光刻機(jī)、貼片機(jī)、俺膜機(jī) 詳詢請致電:吳工 132,4667.5433 ![]() ACS200 Gen3 TE涂膠顯影機(jī):最大化產(chǎn)能的全自動平臺 SUSS ACS200 Gen3 TE平臺將ACS200 Gen3這款非常成功且市場熟知的產(chǎn)品提升到了一個新的高度。不僅在產(chǎn)能上有了顯巨提高,在操作和維護(hù)上也更加舒適。SUSS ACS200 Gen3 TE能夠提供非常靈活的模塊和技術(shù)配置,以滿足先進(jìn)封裝、MEMS、LED和其他市場的要求,并為研發(fā)和HVM提供服務(wù)。 介紹: 基礎(chǔ)框架經(jīng)過重新設(shè)計(jì),可配置多達(dá)6個旋轉(zhuǎn)工藝模塊,并可在這些模塊上方配置冷熱板組。此外,動態(tài)對中(IMOC)功能的引入,即晶圓傳送時的“動態(tài)”定心,進(jìn)一步提高了整體產(chǎn)能。為了滿足最新的ESD標(biāo)準(zhǔn),并為操作員和技術(shù)人員提供更高的舒適度,該平臺已經(jīng)進(jìn)行更新。第二屏幕可根據(jù)個人需要進(jìn)行配置,可以用來顯示攝像頭以及設(shè)備/模塊的狀態(tài),并且可以處理測量數(shù)據(jù)。外圍配套設(shè)備也得到了顯著改進(jìn),特別是新推出的Flexi Media Cabinet,整潔、標(biāo)準(zhǔn)化程度高。由于采用PiXDRO技術(shù)的SUSS JETx噴墨模塊已完全集成到該平臺中,使得該平臺支持下一代材料沉積技術(shù),且仍具有添加其他模塊的能力。同時,已經(jīng)引入了標(biāo)準(zhǔn)制造接口(SMIF)加載端口。此外,流量控制器系統(tǒng)為有機(jī)溶劑和顯影工藝應(yīng)用提供了非常出色的噴液精度。 ACS200 Gen3 TE平臺將繼續(xù)提供的敞開式腔體涂布和SUSS專有的GYRSET?閉蓋式涂布技術(shù)。廣為接受的腔體設(shè)計(jì)將保持不變,因此能夠?qū)崿F(xiàn)將工藝從之前的平臺到現(xiàn)在的輕松轉(zhuǎn)移。 亮點(diǎn): 多達(dá)6個旋轉(zhuǎn)工藝模塊 采用動態(tài)對中(IMOC)提高晶圓傳送效率 超高的配置靈活性 可實(shí)現(xiàn)自動化系統(tǒng)的噴墨技術(shù) 操作舒適性高 標(biāo)準(zhǔn)制造接口(SMIF)負(fù)載端口 詳細(xì)情況 : 顯影工藝 浸置式顯影 噴霧顯影 在此工藝中,一定量的顯影劑被滴在曝光后的襯底上,并通過適度的旋轉(zhuǎn)分散開。 顯影液因其表面張力在晶圓上形成凸?fàn)畹囊好妫ā癙uddle”)。 當(dāng)顯影時間結(jié)束后,通過提高旋轉(zhuǎn)速度甩干晶圓上的顯影液。 然后,用去離子水沖洗晶圓并同樣提高轉(zhuǎn)速甩干。 這種方法的優(yōu)點(diǎn)是,只需使用少量顯影液,就能提供優(yōu)異的顯影結(jié)果。浸置式顯影法不得用于顯影液達(dá)到飽和時,例如當(dāng)必須除去大量顯的光刻膠時或者凹凸圖形阻礙了更換顯影液時。 在這些情況下,需多步使用浸置式顯影或者使用噴涂式顯影 。
德國SUSS MicroTec主要產(chǎn)品:
韓國AUTOFLOW: |
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