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美國MOTT GasShield® 墊片過濾器 GSG-V4-1-N

編號：2324100
規(guī)格
工作條件
? 惰性氣體的高工作溫度：450°C
? 最大壓差：1000 psid 正向或反向 （68.9 barg）
材料
? 硬件：316LSS 或鎳
? 過濾介質：316L 不銹鋼或鎳
? 哈氏合金或定制材料
規(guī)格
顆粒去除粒徑： ≥ 0.003 微米
氦氣泄漏等級： 1 x 10-9 大氣壓 cc/秒
水分貢獻： 根據 SEMI F27 測試方法，在低流量環(huán)境吹掃下 1 小時后 <10 ppb
總碳氫化合物： 低于 SEMASPEC 90120396B 測試方法的可檢測限值
顆粒脫落： 根據 SEMI F43-0308 測試方法，高于本底的零顆粒貢獻（<1 顆粒/立方英尺）
配件和尺寸
典型安裝
零件描述 流量等級 （SLPM） 過濾材料 面密封墊片尺寸（英寸） 元件長度（英寸） 更換間隔
GSG-V4-1-N 系列 1 鎳 ? 1 系統(tǒng)相關
GSG-V4-3-N 系列 3 鎳 ? 3 系統(tǒng)相關
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33 20 鎳 ? 1 系統(tǒng)相關
GSG-V5-1-2N 系列 50 鎳 ? 1 系統(tǒng)相關
GSG-V4-1-S 系列 1 316L 不銹鋼 ? 1 系統(tǒng)相關
GSG-V4-3-S 系列 3 316L 不銹鋼 ? 3 系統(tǒng)相關
GSG-V4-1-2S型 20 316L 不銹鋼 ? 1 系統(tǒng)相關
GSG-V5-1-2S 系列 50 316L 不銹鋼 ? 1 系統(tǒng)相關
*提供定制設計和配件。