| 【半導(dǎo)體氣浮盤，chuck卡盤，耐酸堿PFA靜電噴涂加工】 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：上海 |
| 最少起訂量：1件 | 發(fā)貨地：浦東新區(qū) | |
| 上架時(shí)間：2024-08-07 09:20:28 | 瀏覽量：30 | |
上海 雍昌環(huán)保科技有限公司
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| 經(jīng)營模式：生產(chǎn)加工 | 公司類型：私營有限責(zé)任公司 | |
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【PTFE/PFA涂層加工，可研磨的PFA涂層，半導(dǎo)體PFA涂層在CMP設(shè)備、閥門、密封件、氣浮盤，chuck卡盤，研磨盤等應(yīng)用防腐耐酸，耐磨，經(jīng)過特殊的工藝處理，在惡劣的環(huán)境下使用，可延長使用壽命，涂層不脫層，不起皮，可耐50%的濃酸】 可研磨的PTFE/PFA半導(dǎo)體涂層是一種高性能復(fù)合涂層，結(jié)合了PTFE（聚四氟乙烯）和PFA（全氟烷氧基化合物）的優(yōu)點(diǎn)。這種涂層不僅具有傳統(tǒng)PTFE和PFA涂層的低摩擦、不粘性和耐化學(xué)性，還具備在需要時(shí)可以通過研磨達(dá)到精確形狀和表面光潔度的特性。以下是對可研磨的PTFE/PFA半導(dǎo)體涂層的介紹及其在特定設(shè)備和部件中的應(yīng)用。 可研磨的PTFE/PFA涂層介紹 1. 材料特性 可研磨的PTFE/PFA涂層由PTFE和PFA復(fù)合而成，具有低摩擦系數(shù)、優(yōu)異的不粘性和高耐化學(xué)性。這種復(fù)合涂層可以在涂覆后通過研磨處理，達(dá)到所需的表面光潔度和精確尺寸。 2. 涂層工藝 涂層通常通過噴涂、電泳或浸涂等方法進(jìn)行涂覆，之后在高溫下固化。固化后的涂層可以通過機(jī)械研磨或拋光處理，確保其表面光滑且符合高精度要求。 3. 耐高溫性能 PTFE/PFA涂層在高溫環(huán)境下保持穩(wěn)定，能夠承受半導(dǎo)體制造過程中常見的高溫工藝步驟而不發(fā)生降解。 應(yīng)用設(shè)備及其部件 4.CMP（化學(xué)機(jī)械平坦化）設(shè)備 CMP設(shè)備用于半導(dǎo)體晶圓的平坦化工藝，要求設(shè)備部件具有極高的表面光潔度和耐磨性？裳心サ腜TFE/PFA涂層可用于CMP設(shè)備中的拋光墊、拋光頭和支撐環(huán)等部件。這些部件需要耐化學(xué)腐蝕、低摩擦和高耐磨性，以確保在長時(shí)間運(yùn)行中保持穩(wěn)定和高效。 5. 閥門和密封件 半導(dǎo)體制造過程涉及多種腐蝕性化學(xué)品，閥門和密封件需要高耐化學(xué)性和低摩擦特性？裳心サ腜TFE/PFA涂層可應(yīng)用于各種閥門、密封圈和墊片，提供優(yōu)異的密封性能和耐久性，防止泄漏和磨損，確保設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行。 6.晶圓傳輸系統(tǒng) 在晶圓的搬運(yùn)和處理過程中，傳輸系統(tǒng)的部件需要具有低摩擦和不粘性？裳心サ腜TFE/PFA涂層可用于晶圓傳輸機(jī)械手、導(dǎo)軌和支撐架等部件，減少摩擦和磨損，提高傳輸效率和晶圓的完整性。 7. 泵和流體處理設(shè)備 泵和流體處理設(shè)備在半導(dǎo)體制造中常處理腐蝕性液體和氣體？裳心サ腜TFE/PFA涂層可應(yīng)用于泵的葉輪、閥體和密封部件，提供出色的耐化學(xué)性和低摩擦特性，延長設(shè)備使用壽命，減少維護(hù)需求。 優(yōu)勢 8. 高純度和低污染 可研磨的PTFE/PFA涂層材料純度高，有效防止污染物進(jìn)入半導(dǎo)體制造過程，保證產(chǎn)品質(zhì)量。表面可調(diào)性 涂層可通過 低摩擦和不粘性 9. 涂層的低摩擦和不粘性特性減少了晶圓和其他半導(dǎo)體材料在處理和傳輸過程中的磨損和污染，提高了工藝可靠性。 總結(jié) 可研磨的PTFE/PFA半導(dǎo)體涂層在CMP設(shè)備、閥門、密封件、晶圓傳輸系統(tǒng)以及泵和流體處理設(shè)備中具有廣泛應(yīng)用，提供了優(yōu)異的表面性能、耐化學(xué)性和高溫穩(wěn)定性。其可研磨特性使涂層能夠在涂覆后通過機(jī)械加工達(dá)到極高的精度和表面光潔度，滿足半導(dǎo)體制造過程中嚴(yán)格的要求，顯著提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量 |
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