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PPB級超高純半導(dǎo)體防腐專用PFA
PPB級超高純半導(dǎo)體防腐專用PFA 價格:  元(人民幣) 產(chǎn)地:上海浦東新區(qū)
最少起訂量:1 發(fā)貨地:上海浦東新區(qū)
上架時間:2024-05-21 13:17:41 瀏覽量:66
上海 雍昌環(huán)?萍加邢薰  
經(jīng)營模式:生產(chǎn)加工 公司類型:私營有限責(zé)任公司
所屬行業(yè):代加工服務(wù)類 主要客戶:各類金屬制品廠家、軸承制造商、機(jī)械零部件、醫(yī)療器械、軍工航天航空
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:吳笛 (小姐) 手機(jī):13061803373
電話: 傳真:
郵箱:wud@micro-jw.com 地址:上海市臨港新區(qū)偉展路175號

詳細(xì)介紹

PPB級超高純半導(dǎo)體防腐專用PFA ,應(yīng)用石英石晶 圓花籃,半導(dǎo)體清洗槽,半導(dǎo)體設(shè)備
超高純度 接觸晶圓的防腐材料金 屬離子含量低于PPB級, 否則會污染晶圓 優(yōu)秀防腐性 需要有優(yōu)秀的耐酸堿性能, 抵御各類強(qiáng)酸強(qiáng)堿,防止 腐蝕造成金屬離子析出厚度及致密性 高厚度和致密性,保證 研磨液/清洗液不會滲透 進(jìn)入涂層接觸基體金屬 硬度及耐磨性 硬度及韌性保證部件可進(jìn) 行二次加工從而保證精度, 耐磨性保證了部件的壽命 且不能過硬劃傷晶圓
產(chǎn)品案例
8/12寸晶圓花籃由于強(qiáng)度 載重原因,部分無法使用 超高純注塑材料,改用超 高純氧化硅/氧化鋁陶瓷材 料,但表面容易劃傷晶圓, 且接觸酸容易造成花籃腐 蝕損壞
叉手在轉(zhuǎn)移晶圓的同時, 會造成晶圓劃傷,需要表 面進(jìn)行防護(hù),同時材料需 要有防腐性保證飛濺的酸 堿不損壞轉(zhuǎn)運(yùn)臂

 純度:PPB級 
厚度:400-800?m 
耐酸:氫氟酸+硝酸 
硬度:4H

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