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RBZ-SG系列精密Z軸
RBZ-SG系列精密Z軸 價(jià)格:  元(人民幣) 產(chǎn)地:本地
最少起訂量:1臺(tái) 發(fā)貨地:本地至全國
上架時(shí)間:2024-04-23 15:08:45 瀏覽量:122
北京瑞邦精控科技有限公司  
經(jīng)營模式: 公司類型:
所屬行業(yè):儀器儀表加工設(shè)備 主要客戶:高校,企業(yè),科研單位
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:王欣悅 (小姐) 手機(jī):18145668702
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郵箱:490748999@qq.com 地址:

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

 

?  垂直平升行程可達(dá)50mm,整體尺寸結(jié)構(gòu)緊湊,速度可達(dá)20mm/s,最大負(fù)載60kg

?  高精度交叉滾柱導(dǎo)軌,無槽無刷力矩電機(jī),低膨脹系數(shù)光柵有助實(shí)現(xiàn)納米級(jí)微動(dòng)步距

?  高可靠性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),使用壽命長(zhǎng)

 


應(yīng)用領(lǐng)域

RBZ-SG系列是一款長(zhǎng)行程的精密平升Z軸,具有納米級(jí)微動(dòng)步距,高動(dòng)態(tài)性能,結(jié)構(gòu)緊湊,用于晶圓加工及檢測(cè)、飛秒激光加工、測(cè)試測(cè)量、生物工程等高精度行業(yè)。

 

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

RBZ-SG系列直驅(qū)結(jié)構(gòu),承載能力大,在一個(gè)長(zhǎng)行程的移動(dòng)范圍,保持盡可能低的高度,優(yōu)化阿貝誤差影響,有助于提高整體精度性能?谷渥兘徊鏉L柱導(dǎo)軌垂直導(dǎo)向,為提升直線度、Pitch Roll Yaw指標(biāo)提供創(chuàng)新解決方案。

 

直驅(qū)結(jié)構(gòu)

力矩電機(jī)作為直驅(qū)方式,沒有皮帶、齒輪、蝸輪蝸桿和彈性聯(lián)軸器中間傳動(dòng)環(huán)節(jié),RBZ-SG平升Z軸直接托舉負(fù)載運(yùn)動(dòng),相對(duì)側(cè)升結(jié)構(gòu)Z軸,無需轉(zhuǎn)接板,負(fù)載重心布置在Z軸中心,有利于運(yùn)行過程減小俯仰和偏擺的影響。

 

光柵閉環(huán)反饋

RBZ-SG平升Z軸為雙閉環(huán)反饋,直線光柵和圓光柵相結(jié)合的雙反饋方式,直接測(cè)量工件移動(dòng)時(shí)的誤差,提高了精度性能。

 

 

 


 

 

規(guī)格指標(biāo)

型號(hào)

單位

RBZ-20SG

RBZ-35SG

RBZ-50SG

行程

mm

20

35

50

補(bǔ)償后定位精度 

Plus (1) 

μm

±0.1

±0.15

±0.15

標(biāo)準(zhǔn)值

±1

±1

±1

雙向重復(fù)定位精度

Plus (1) 

μm

±0.05

±0.075

±0.075

標(biāo)準(zhǔn)值

±0.5

±0.5

±0.5

直線度 (2)

Plus (1) 

μm

±0.5

±0.5

±0.75

標(biāo)準(zhǔn)值

±3

±4

±5

Pitch Roll (2)

Plus (1) 

arc sec

±2.5

±2.5

±3.5

標(biāo)準(zhǔn)值

±5

±5

±7

Yaw (2)

Plus (1) 

arc sec

±2

±2

±3

標(biāo)準(zhǔn)值

±5

±5

±7

電子分辨率 (3)

nm

0.3 5(選配)

最大速度 (空載) (4)

mm/s

10

10

20

最大負(fù)載

kg

20

40

60

注:

以上為單軸精度指標(biāo),在潔凈間內(nèi)測(cè)試,溫度20℃±1℃,濕度40%~60%RH,振動(dòng)等級(jí)VC-E,測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm

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