| 美國MKS控制器DLT2A2 |
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價(jià)格：6200 元(人民幣) | 產(chǎn)地：美國 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：南京 | |
| 上架時(shí)間：2024-04-17 16:42:19 | 瀏覽量：167 | |
南京灼華電氣有限公司
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1、美國MKS控制器產(chǎn)品介紹 使用DELTA?流量比控制器(FRC)，優(yōu)化過程性能變得更加容易。DELTA?流量比控制器(FRC)廣泛用于各種分流應(yīng)用，例如蝕刻、剝離和PECVD，使用戶能夠?qū)怏w或氣體混合物分配到工藝室的不同區(qū)域。DELTA?II流量比例控制器以用戶的比例分配和控制混合工藝氣體流向工藝室內(nèi)的多個(gè)腔室或區(qū)域，從而最大限度地提高工藝均勻性和可重復(fù)性。它可用于EtherCAT?或DeviceNet?通信。 2、美國MKS控制器產(chǎn)品特征 分配和控制流向兩個(gè)腔室或區(qū)域的工藝氣體 用于在運(yùn)行期間監(jiān)控設(shè)備的嵌入式以太網(wǎng) 模擬、EtherCAT?或DeviceNet?通信 更寬的動態(tài)控制范圍，可實(shí)現(xiàn)低至5%滿量程流量的比率控制 獲得的控制算法可實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)比設(shè)定點(diǎn) 使用標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)絡(luò)瀏覽器-無需特殊軟件 3、美國MKS控制器產(chǎn)品優(yōu)勢 DELTA II具有更寬的動態(tài)比率控制范圍，更能適應(yīng)不同的刀具和工藝條件。MKS開發(fā)了一種獨(dú)特的正在申請的比率控制算法，使比率和流量響應(yīng)時(shí)間小于兩(2)秒。這種控制算法還支持20比1的比率控制范圍，是其行業(yè)領(lǐng)先前身的兩倍多。DELTA II的診斷功能允許用戶在現(xiàn)場檢查DELTA的性能，通過減少“未發(fā)現(xiàn)問題”設(shè)備的移除來降低成本。此功能通過通過設(shè)備的以太網(wǎng)端口訪問的Web瀏覽器實(shí)用程序啟用。該實(shí)用程序使用標(biāo)準(zhǔn)的網(wǎng)絡(luò)瀏覽器——不需要特殊軟件。訪問時(shí)，可通過設(shè)備高亮LED顯示屏訪問IP地址。 4、美國MKS控制器產(chǎn)品信息 DELTA II廣泛用于各種分流應(yīng)用，如蝕刻、剝離和CVD，使用戶能夠?qū)怏w或氣體混合物分配到工藝室中的兩個(gè)不同區(qū)域。向DELTA II發(fā)送氣體（或任何混合物）和比率設(shè)定點(diǎn)，DELTA II將自動且精確地將氣體分成兩個(gè)獨(dú)立的輸出通道。吞吐量和過程控制一直是半導(dǎo)體器件制造商的關(guān)鍵。隨著300毫米晶圓和雙工藝室的出現(xiàn)，控制氣流分布的新方法變得越來越需要。300毫米晶圓加工通常需要對整個(gè)晶圓的氣體分布進(jìn)行可調(diào)控制，以提供更好的工藝均勻性。雙工藝室需要適當(dāng)?shù)臍怏w分布，以便與單源氣體面板的室匹配。 5、美國MKS控制器產(chǎn)品技術(shù)數(shù)據(jù) 最大工作出口壓力：200托 最大允許出口壓差：50托（Q1和Q2之間） 正常工作壓差：<150托（對于10000/10000，<450托）（N2） 證明壓力：1000磅/平方英寸 爆破壓力：1500磅/平方英寸 輸入流量范圍：每個(gè)通道的5到100%滿量程額定值（N2等效） 比率控制范圍：1:1到20:1和20:1到1:1 比率精度：比率設(shè)定點(diǎn)的2% 典型精度：比率設(shè)定點(diǎn)的0.3% 比率重復(fù)性和再現(xiàn)性：通道滿量程的0.02% 零溫度系數(shù)：0.05%滿量程/°C 跨度溫度系數(shù)：0.08%讀數(shù)/°C 熱身時(shí)間：30分鐘 工作溫度：10至40°C 6、美國MKS控制器產(chǎn)品部分型號 美國MKS控制器DELTA?IV 4 美國MKS控制器DELTA?II 美國MKS控制器DLT2A2 美國MKS控制器DLT2B 美國MKS控制器DLT2A1 美國MKS控制器DLT3B 美國MKS控制器DLTNA3
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