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等離子體技術目前主要有四個領域，分別是介質(zhì)阻擋放電（雙介質(zhì)、單介質(zhì)）、放電（金屬、纖維）、板式放電、微波放電，在實際應用中多采用組合模式。

放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。

在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊廢氣分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無毒無害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。