CMP化學(xué)拋光過程用PFA容量瓶低本底蝕刻液剝離液定容瓶 |
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隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模的增長(zhǎng),CMP拋光液市場(chǎng)規(guī)模進(jìn)一步擴(kuò)大,化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)是晶圓制造的關(guān)鍵步驟,其作用在于減少晶圓表面的不平整,而拋光液墊是CMP技術(shù)的關(guān)鍵耗材,價(jià)值量較高,占CMP耗材49%價(jià)值量,其品質(zhì)直接影響著拋光效果,因而對(duì)提高晶圓制造質(zhì)量至關(guān)重要。PFA容量瓶半透明透明可視度高,本底值低耐受強(qiáng)酸堿,未添加回料具有低的本底,金屬元素鉛、鈾含量小于0.01ppb,無溶出與析出,是目前潔凈的實(shí)驗(yàn)分析器皿,常用于半導(dǎo)體、多晶硅、光伏電子 鋰電等行業(yè),在CMP中用來配置清洗液
特性: 1.外觀半透明; 2.耐溫性:-200~+260℃; 3、耐絕緣:介電性能與溫度、頻率無關(guān); 4、防污染:金屬元素值低; 5、具有低的溶出和析出特性,是儲(chǔ)存標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)和不同試劑的器皿;
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