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YUTAKA Crown高壓標準流量計調(diào)壓閥 L21SSA-2W-167A10-22M-2

YUTAKA Crown高壓標準流量計調(diào)壓閥 L21SSA-2W-167A10-22M-2

特長

本器L21シリーズは、高圧タイプの半導體プロセス製造ガス用に設計された製品で、基本構(gòu)造は外部メタルシール?溶接継手仕様でL20シリーズより基本性能を向上した製品です。外部リーク、パーティクル性能に優(yōu)れた製品で、シリンダーキャビネットに最適です。

入口圧力	14.8MPa以下（Max.24MPa）
調(diào)整圧力	Max.0.99MPa （レンジ仕様：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa）
元圧変動	入口圧力：0.1MPa當り、調(diào)整圧力変化量0.0005MPa以下
耐圧圧力	31.5MPa（入口側(cè)）、1.5MPa（調(diào)整側(cè)）
Cv値	0.09
使用溫度	－10～＋40°C
外部リーク	1×10－11Pa?m3/s?He（真空法）
內(nèi)部容積	4.75cm（3 圧力計、継手部を除く）4.75cm（3 圧力計、継手部を除く）
質(zhì)量	約1.4 kg
取付方法	背面ビスによる取り付け

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