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二手日本光馳窄帶濾光片/介質(zhì)膜/ITO膜/金屬膜光學(xué)鍍膜機(jī)OTFC-1550CBI/DBI介紹

設(shè)備尺寸：

設(shè)備名稱 OTFC-1550CBI/DBI

真空室 SUS304, φ1550mm×1800mm (H)

&：

工件架 φ1400mm

工件架轉(zhuǎn)速 10rpm to 30rpm(可變)

光學(xué)膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀

波長范圍：350nm to 1100nm

反射式/透射式

水晶式膜厚計 XTC/3+6點式水晶傳感器

蒸發(fā)源 電子槍2套

離子源 17cmRF離子源

機(jī)械性能：

排氣系統(tǒng) 機(jī)械泵+2個擴(kuò)散泵+Polycold（或2個冷凝泵）

達(dá)到壓力 7.0×10-5Pa 以下

排氣時間 15分（大氣壓～1.3×10-3Pa)

基板溫度 ：350℃

工作條件：

設(shè)備尺寸 約5500mm(W)×7200mm(D)×3700mm(H)

電源 3相,200v,50/60Hz, 約120KVA

水流量 180升/分以上

空氣壓力 0.5MPa以上

重量 約10000kg

1.機(jī)械泵分類：機(jī)械泵種類繁多，常用滑閥式（主要用于大型設(shè)備）、四種類型的活塞往復(fù)式、定片式和旋片式(目前應(yīng)用***，本文主要介紹)。

2.機(jī)械泵從大氣中工作，其主要參數(shù)為極限真空和抽氣速率，是設(shè)計和選擇機(jī)械泵的重要依據(jù)。單級泵可將容器從大氣泵送到1.0*10-1PA的極限真空，雙級機(jī)械泵可將容器從大氣泵送到6.7*10-2帕，甚至更高。泵送速率是指旋片泵按額定轉(zhuǎn)數(shù)運行時，單位時間內(nèi)排出的氣體體積，可以用以下公式計算：Sth=2nvs=2nfsLL2nfs fs表示空腔截面積，L表示空腔長度，系數(shù)表示轉(zhuǎn)子每周旋轉(zhuǎn)兩次，Vs表示當(dāng)轉(zhuǎn)子處于水平位置時，空腔體積，速度為n。機(jī)械泵的排氣效果也與電機(jī)的速度和皮帶的松緊度有關(guān)。當(dāng)電機(jī)皮帶松動，電機(jī)速度慢時，機(jī)械泵的排氣效果會變差。因此，需要定期維護(hù)和檢查。機(jī)械泵油的密封效果也需要定期檢查。油太少，無法達(dá)到密封效果。泵內(nèi)會漏氣，油太多，堵塞吸氣孔，無法吸氣和排氣。一般來說，

3.機(jī)械泵常用于去除干燥空氣，但不能去除含氧量高、爆炸性和腐蝕性氣體。機(jī)械泵通常用于去除***性氣體，但對水氣沒有良好的影響，因此不能去除水氣。旋轉(zhuǎn)泵的主要部件是定子、轉(zhuǎn)子、彈片等，轉(zhuǎn)子在定子中，但與定子不同，如兩個內(nèi)切割圓，轉(zhuǎn)子槽中有兩個彈片，兩個彈片中間有彈簧，以確保彈片靠近定子的內(nèi)壁。

鍍膜機(jī)設(shè)備清單

二手日本光馳窄帶濾光片/介質(zhì)膜/ITO膜/金屬膜光學(xué)鍍膜機(jī)OTFC-1550CBI/DBI圖片