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ASA Luran S 半導(dǎo)體用3萬元/公斤的全氟醚橡膠

全氟醚橡膠（FFKM）是一種完全不含C-H鍵的氟橡膠，在介質(zhì)腐蝕、高溫、高壓、輻射環(huán)境等苛刻條件下，只有全氟醚橡膠才能適應(yīng)，因此，在安全和維護要求嚴格的半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置中大顯身手。

由于在半導(dǎo)體制造中，停產(chǎn)更換密封件代價極高，半導(dǎo)體行業(yè)的密封件和墊圈需要非同尋常的材料。而全氟醚橡膠的高純度和對等離子體、熱和刺激性化學(xué)品的極高耐受性為半導(dǎo)體制造如等離子處理、熱處理及濕法工藝等生產(chǎn)裝置的密封提供了出色解決方案，可延長密封壽命，減少污染，進而提高晶圓產(chǎn)量，降低生產(chǎn)成本。而全氟醚橡膠唯一的缺點就是價格太高，市場價約3~5萬元/kg。

全氟醚橡膠的性能特點及其在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用，全氟醚橡膠絕大多數(shù)被制成密封件，如O型圈、墊圈等產(chǎn)品，應(yīng)用于泵、機械密封、閥門的閥座、連接密封件等高溫、強腐蝕的使用環(huán)境下。今天我們就來認識一下全氟醚橡膠的生產(chǎn)企業(yè)。

ASA樹脂，也稱AAS樹脂，是由丙烯酸酯、苯乙烯和丙烯腈組成的接枝共聚物，呈現(xiàn)以苯乙烯丙烯腈（SAN)樹 脂為連續(xù)相、以丙烯酸酯橡膠為分散相的海島結(jié)構(gòu)。最早由德國BASF公司在1962年實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。