熱式混合氣體質(zhì)量流量控制器 |
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熱式混合氣體質(zhì)量流量控制器熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱擴(kuò)散原理測(cè)量氣體流量的儀表。傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)熱電阻組成。一個(gè)是速度傳感器,一個(gè)是測(cè)量氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)這兩個(gè)置于被測(cè)氣體中時(shí),其中傳感器被加熱,另一個(gè)傳感器用于感應(yīng)被測(cè)氣體溫度。隨著氣體流速的增加,氣流帶走更多熱量,傳感器的溫度下降。
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