應(yīng)城三十萬(wàn)級(jí)凈化車間工程設(shè)計(jì)裝修無(wú)塵廠房?jī)艋甯魯嗟蹴敯惭b |
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百級(jí)半導(dǎo)體無(wú)塵車間裝修設(shè)計(jì)施工中改進(jìn)措施 1.潔凈車間局部百級(jí)區(qū)的上送上回氣流組織形式不符合凈化原理,應(yīng)想辦法使其氣流組織滿足上送下回(或下側(cè)回)的凈化原理。如果工藝條件允許,最簡(jiǎn)單的補(bǔ)救措施是在層流罩兩側(cè)加軟質(zhì)垂簾(如PVC材質(zhì)的條形簾),垂簾低端能低于工作面高度,這樣就把上送上回的氣流組織形式轉(zhuǎn)化成上送下回。 2.當(dāng)層流罩距工作面的距離較大時(shí),如果工藝條件允許,可用符合潔凈廠房要求的透明材料把局部百級(jí)工藝線從凈化車間中隔離出來(lái),隔離材料可采用塑鋼框架、5mm厚浮法玻璃結(jié)構(gòu),也可采用優(yōu)質(zhì)鋁合金或不銹鋼框架、5mm厚浮法玻璃結(jié)構(gòu),這樣局部百級(jí)區(qū)的氣流組織形式就轉(zhuǎn)化為上送下側(cè)回的形式。 3.加大回風(fēng)口的回風(fēng)量,在層流罩與高效送風(fēng)口之間懸吊軟隔斷,在局部百級(jí)區(qū)的靜壓大于其周邊區(qū)的靜壓,阻止亂流氣流對(duì)局部百級(jí)區(qū)的干擾,必要時(shí)在軟隔斷的右側(cè)增設(shè)回風(fēng)口。使回風(fēng)口的回復(fù)量為層流罩送風(fēng)量的一半,另一半風(fēng)量壓入軟隔斷右側(cè)區(qū)域,即靠軟隔斷與動(dòng)壓共同控制周邊區(qū)對(duì)百級(jí)區(qū)的污染。 |
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