| PALOMAR高真空爐3150 |
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價格：1256 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1個 | 發(fā)貨地：本地至全國 | |
| 上架時間：2022-11-24 14:00:20 | 瀏覽量：90 | |
天津西納智能科技有限公司
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產(chǎn)品名稱：PALOMAR高真空爐3150 產(chǎn)品型號：3150 產(chǎn)品介紹： 3150高真空爐封裝采用非常低的真空和濕度水平密封，以延長長期性能。提供低至 10-7 Torr 的真空度和高達 500°C（可選 1000°C）的溫度。潔凈室兼容系統(tǒng)還可配置為允許蓋子和封裝的原位分離、吸氣劑燒制和MEMS封裝的密封。使用渦輪分子阻力泵來有效泵送氫氣分子。對于需要很低水平殘留水蒸氣的工藝，可以將可選的低溫水泵添加到系統(tǒng)中。 性能特點： ?高真空能力 ?可選的低溫水泵 ?渦輪分子泵 ?壓力為12 psig ?自動線性運動階段 ?電阻石墨熱系統(tǒng) ?專有運行分析儀軟件 ?自動溫度和壓力控制 ?分布式邏輯控制系統(tǒng) ?原位熱量激活 ?所有配置文件運行的實時繪圖 ?溫度高達1000°C（可選） 參數(shù)： ?工作溫度范圍：室溫至500°C（1000°C選項） ?熱工作區(qū)：25“ 2（160 cm2） ?min真空水平：<1 x 10-7托爾（1.3 x 10-7 mbar） ?max室內(nèi)氣PSI：15 psig（1.8 bar） ?室深度：12英寸（305毫米） ?工作表面高度：37英寸（95厘米）可調(diào) ?需要壓縮空氣：90 psig（7 bar） ?冷卻方法：可編程氮氣清洗 ?加熱方法：可移動的電阻石墨夾具 ?工藝氣體（三個輸入）：需要N2，（AR，HE，形成氣體可選） @ 90psig（7 bar）min壓力 ?尺寸（w x d x h）：94“ x 43” x 54“（238 x 109 x 137 cm） ?體重：1800磅（816公斤） ?電氣（電壓）：208-240伏，60安培，50/60 Hz，1階段，7.3千瓦平均值，13.2千瓦峰 ?真空泵類型：渦輪分子阻力（可選的低溫水泵） ?冷卻水：2 GPM（8 lpm） @ 20-25°C，2千瓦的容量min
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