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催化燃燒過程是在催化燃燒裝置中進行的。有機廢氣先通過熱交換器預熱到200～400℃，再進入燃燒室，通過催化劑床時，碳氫化合物的分子和混合氣體中的氧分子分別被吸附在催化劑的表面而活化。由于表面吸附降低了反應的活化能，碳氫化合物與氧分子在較低的溫度下迅速氧化，產(chǎn)生二氧化碳和水。

催化燃燒反應的關鍵是選擇合適的催化劑。

對催化劑的要求是：活性高,特別要低溫活性好,以便在盡可能低的溫度下開始反應。燃燒反應是放熱反應，釋放出大量的熱可使催化劑的表面達到 500～1000℃的高溫，而催化劑容易因熔融而降低活性，所以要求催化劑能耐高溫。

該處理工藝可廣泛用于石油、化工、橡膠、油漆、涂裝、家具、家電、印刷等行業(yè)中產(chǎn)生的低濃度有機廢氣的凈化處理，可處理的有機物質(zhì)種類包括苯類、酮類、醇類、醚類和烷烴類等。

起燃溫度低，能耗少，燃燒易達穩(wěn)定，甚至到起燃溫度后無需外界傳熱就能完成氧化反應。