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圓柱坐標潔凈_3軸機械手臂
圓柱坐標潔凈_3軸機械手臂 價格:  元(人民幣) 產(chǎn)地:本地
最少起訂量:1 發(fā)貨地:本地至全國
上架時間:2022-05-18 13:02:14 瀏覽量:141
深圳市衡鵬瑞和科技有限公司  
經(jīng)營模式:貿(mào)易公司 公司類型:其他有限責任公司
所屬行業(yè):專用儀器儀表 主要客戶:馬康,田村,GOOT
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詳細介紹

圓柱坐標潔凈_3軸機械手臂


圓柱坐標潔凈_3軸機械手臂特點: 
超潔凈無塵間用300mm晶圓對應(yīng)MCR3000C系列
適用于半導體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測設(shè)備等的晶圓搬運
全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求
比MHR系列具有更好的性價比優(yōu)勢
機械手臂標準臂長:160mm, 200mm
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機
S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓
晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式
手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)



3軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數(shù):
使用環(huán)境                潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂                      單臂
到達距離                400mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)
升降軸行程      300mm / 400mm / 500mm
可搬運質(zhì)量             4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準)


如需詳細產(chǎn)品參數(shù) 請聯(lián)系我們衡鵬
http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/



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4軸圓柱坐標潔凈機械手臂/5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂

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