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型號
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VK-9510K
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類型
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控制器
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綜合倍率
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28,800 倍以下*1
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視野 (最小視野范圍)
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11 ?m 至 7,398 ?m
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幀率 (激光測量速度)
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4 至 125 Hz、7,900 Hz*2
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測量原理
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光學(xué)系統(tǒng)
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針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)、變焦
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光接收元件
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16 bit 感應(yīng)光電倍增器、超高精細(xì)彩色CMOS
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掃描方式
(常規(guī)測量時及圖像拼接時)
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自動上下限設(shè)定功能、高速光量化功能 (AAGII)、反射光量不足補(bǔ)充功能 (雙掃描)
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高量
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顯示分辨率
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0.5 nm (VK-X1100)、5 nm (VK-X1050)
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線性標(biāo)尺
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動態(tài)量程
(來自工件的光接收量的適用幅度)
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16 bit
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重復(fù)精度σ
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激光共聚焦
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20 倍 : 40 nm、50 倍 : 12 nm (VK-X1100)
20 倍 : 40 nm、50 倍 : 20 nm (VK-X1050)
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變焦
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5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 20 nm (VK-X1100)
5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 30 nm (VK-X1050)
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高度數(shù)據(jù)獲取范圍
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70 萬步驟
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準(zhǔn)確性
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0.2 + L/100 ?m 或更小 (L = 測量長度 ?m)*3
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寬度測量
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顯示分辨率
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1 nm (VK-X1100)、10 nm (VK-X1050)
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重復(fù)精度 3σ
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激光共聚焦
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20 倍 : 100 nm、50 倍 : 40 nm (VK-X1100)
20 倍 : 100 nm、50 倍 : 50 nm (VK-X1050)
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變焦
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5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 50 nm (VK-X1100)
5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 65 nm (VK-X1050)
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準(zhǔn)確性
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測量值±2 % 以內(nèi)*3
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XY 載物臺結(jié)構(gòu)
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手動 運行范圍
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70 mm x 70 mm
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電動 運行范圍
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100 mm x 100 mm
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觀察
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觀察圖像
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超高精細(xì)彩色CMOS 圖像、16 bit 激光彩色共焦點圖像、共焦點 + ND 濾波器光學(xué)系統(tǒng)、C - 激光微分干涉圖像
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照明
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環(huán)狀照明、同軸落射照明
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測量用激光光源
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波長
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紫色半導(dǎo)體激光 404 nm (VK-X1100)
紅色半導(dǎo)體激光 661 nm (VK-X1050)
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輸出
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1 mW
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激光產(chǎn)品
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2 類激光產(chǎn)品 (GB7247.1)
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電源
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電源電壓
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100 至 240 VAC、50/60 Hz
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消耗電流
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150 VA
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重量
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約 3.0 kg
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*1 23 寸顯示器畫面上的倍率 (全屏顯示器時)。
*2 測量模式/測量品質(zhì)/鏡頭倍率的組合中、取最快的一組組合時。線掃描的情況下、測量間距小于 0.1 ?m 時。
*3 使用 20 倍以上的鏡頭測量標(biāo)準(zhǔn)樣品 (標(biāo)準(zhǔn)刻度) 時。
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