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Lubricants for the Cleanroom Technology

無塵室潤滑脂

介紹

以下描述的潤滑脂產品數據屬于LOSIMOL 無塵室潤滑脂系列，特別用于無塵技術的需求。這表明無塵室潤滑脂不僅具有摩擦學特性而且滿足無塵技術的特殊需求，如顆粒的數量和大小。因此LOSIMOL無塵室潤滑脂根據以上兩點進行分類。

無塵特性

微粒發(fā)散行為和微粒大小分布結果在標準環(huán)境下確定。一種半導體檢測設備的晶片定位部件作為測試標準。

圖.1 潤滑脂的顆粒發(fā)散

SM 1=CRL 68200   SM 3=CRL 16615   SM 5=CRL 90110

SM 2=CRL 22680   SM 4=CRL 50090   SM 6=CRL 61015  SM 7=CRL 97902

顆粒物的擴散（擴散粒子的數量）

表一說明了潤滑劑平均粒子擴散與其他無塵系列潤滑劑的比較。被測試粒子（大于0.1um）通常是被摩擦系統(tǒng)釋放出來的顆粒物。因此定位儀的粒子和潤滑劑摩擦釋放出來的粒子都被檢測到。圖表顯示每種潤滑脂的發(fā)散顆粒的數量有著很大的差別。

顆粒物大小分布

除了顆粒的發(fā)散，對于許多應用中發(fā)散顆粒大小的分布也是一個重要的選擇標準。

因為不同潤滑脂可能散發(fā)許多完全不同顆粒大小分布的微粒。

依賴產品的污染靈敏度會導致不同程度的污染。

               LOSIMOL無塵室潤滑脂

工業(yè)中的許多產品（如微電子和光學工業(yè)）對于顆粒污染變得越來越敏感。為了降低顆粒污染，這就意味著需要高無塵等級的產品。在生產過程中生產環(huán)境的清潔只有通過生產設備，產生和釋放盡可能少的顆粒物來保證。設計和操作的設備根據無塵室適合性的需求來滿足這個要求。

因為典型的設備需要被潤滑如發(fā)動機，發(fā)動機傳輸部件或軸承，合適的無塵室潤滑劑的選擇變得尤為重要。

以下你可以發(fā)現適宜無塵室潤滑劑的重要標準：

- 很大的降低潤滑部件的磨損

- 較小的顆粒發(fā)散和滴漏傾向

- 微小的氣體污染或揮發(fā)

- 抗老化（UV）

- 高抵抗?jié)櫥考牧虾铜h(huán)境介質

- 很少數量的外來顆粒

目前由于用于無塵室的許多潤滑脂總是不滿足以上這些要求，LOSIMOL開發(fā)研制了一系列特殊無塵室潤滑脂。他們已經通過在佛朗赫弗協(xié)會的半導體制造設備和德國斯圖加特自動控制（IPA）測試中心測試無塵室等級為一級。

測試結果表明摩擦系統(tǒng)的總發(fā)散顆粒的數量受潤滑劑的影響很大。如果相同的部件用不同的潤滑劑潤滑，在相同的條件下顆粒發(fā)散水平可能不同甚至超過100％。發(fā)散顆粒的大小分布也同樣依賴所使用的潤滑劑。