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注意事項(xiàng)
除了做實(shí)驗(yàn)外，不要停留在高溫爐管區(qū)。
實(shí)驗(yàn)工作完畢時(shí)，若無人繼續(xù)使用，請關(guān)氣體，保留N2流動，并查看是否有其它電源該關(guān)而沒有關(guān)、煮酸用的小電爐或其它，請隨手關(guān)掉。
處理HF時(shí)，請戴手套，如不小心碰到HF時(shí)，請立刻沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處15'。
石英玻璃制品請小心使用，以免破裂，引起嚴(yán)重割傷。
避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。

一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安 全之事物時(shí)，請立即通知有關(guān)人員(技術(shù)員等)。
請節(jié)約純水用量。
破晶片、濾紙、棉花棒，請勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板漬水。
長短推桿之前端，在還沒使用到時(shí)，請朝上以免污染。
晶片進(jìn)出爐口時(shí)，請勿碰觸爐管口，以免污染爐管。

高溫爐又叫馬弗爐，實(shí)驗(yàn)電爐，是用于實(shí)驗(yàn)室的加熱設(shè)備。高溫爐只是一個(gè)統(tǒng)稱，其實(shí)在不斷的發(fā)展過程中，又有了很多的細(xì)分。主要介紹一下主流高溫爐廠家生產(chǎn)高溫爐的幾個(gè)常見的類型細(xì)分。

箱式爐

管式爐

適合小工件和小樣品的加熱、燒結(jié)，各大專院校實(shí)驗(yàn)室使用的很多。工作方式是將石英的或剛玉的爐管放到爐膛內(nèi)加熱，加熱區(qū)域、恒溫區(qū)域內(nèi)放置工件。

管式爐兩端采用密封法蘭，可實(shí)現(xiàn)預(yù)抽真空，可通入各種保護(hù)氣體，氧化氣體和還原氣體。

氣氛爐

氣氛爐是集成了箱式爐和管式爐雙重特點(diǎn)的高溫爐，適合較大樣品和有氣氛要求的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)。氣氛爐外型和高溫爐差不多，在此基礎(chǔ)上增加了進(jìn)氣口和出氣口。爐體密封焊接，爐門上有一圈耐 高溫硅膠密封圈，能夠起到很好的密封作用。所以使用時(shí)能夠預(yù)抽真空，也能通入各種氣氛。真空效果相比管式爐略差，但是不影響使用，一般能到0.05MP.

井式爐

井式爐從外形上看其實(shí)也和箱式爐、氣氛爐差不多，都是箱體外形。但從結(jié)構(gòu)上看又和坩堝高溫爐很相似。井式爐的爐膛是豎直安置的，可以垂直方向取放樣品和工件，爐門開在爐子的上方，垂直方向開關(guān)門。很方便需要自動化改進(jìn)，比如配合機(jī)械手進(jìn)行自動的實(shí)驗(yàn)。井式爐的爐膛一般是圓形的，不過也有很多客戶要方形的爐膛。

其實(shí)不論哪種高溫爐都是好的加熱設(shè)備，客戶有要求只要跟高溫爐廠家說清楚，都能夠?qū)嶒?yàn)定制。不過上面四中主要的高溫爐能夠滿足絕大部分客戶的實(shí)驗(yàn)需求。