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產品背景：

      當今的高性能電子束相關的設備對變化的環(huán)境磁場非常敏-感，比如離子束3D打印設備、電子顯微鏡、半導體光刻機、等離子切割機。當環(huán)境磁場發(fā)生變化時，電鏡中的電子束會偏轉，從而導致打印歪曲偏離、電子顯微鏡分辨率下降和圖像失真。HSR2iX系列磁場消除系統(tǒng)通過動態(tài)創(chuàng)建幾乎相等且方向相反的磁場來穩(wěn)定電子束相關的設備周圍的環(huán)境磁場，改善各種電子束、離子束設備周圍惡劣的磁場環(huán)境，保障設備使用的磁場環(huán)境要求。

產品介紹：

HSR2iX系列磁場消除系統(tǒng)由磁傳感器感知單元、磁場發(fā)生單元、磁場控制單元、顯控單元等構成。綜合了低噪聲磁敏-感技術、消磁線圈優(yōu)化設計技術、磁場自動控制技術，實現(xiàn)了對寬頻帶雜散磁場的自動跟蹤補償，達到穩(wěn)定磁場的目的。

根據(jù)具體用途，HSR2iX系列磁場消除系統(tǒng)具有三種不同型號：HSR2i01、HSR2i02和HSR2i03。（特殊情況可定制）

工作原理：

通過三分量磁場傳感器實現(xiàn)雜散磁場的感知，并將感知到的信號送入智能磁場控制單元；智能磁場控制單元實時產生一個電流信號，該電流通過磁場產生單元產生與雜散磁場方向相反、大小相等的磁場，在工作區(qū)實現(xiàn)了磁場的疊加從而得到穩(wěn)定的磁場環(huán)境。

典型應用：

1. 生命科學領域的冷凍電鏡

冷凍電鏡可以直接觀測蛋白質分子、生物病毒（埃博拉病毒、非典病毒）的結構，但是冷凍電鏡極易受到磁場、震動的影響；磁場影響主要來自大型用電設備、輸電線路、軌道交通等。

2. 材料科學領域的掃描電鏡

掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產生過程，可以觀察金屬材料內部原子的集結方式和它們的真實邊界，可以觀察在不同條件下邊界移動的方式，可以檢查晶體在表面機械加工中引起的損傷和輻射損傷等；但是掃描電鏡容易受到磁場波動的影響而導致圖像出現(xiàn)條紋。

3. 化工領域中的原理分析用電鏡

電鏡可以用來觀測催化劑的表面重構，深入研究反應機理，但是磁場干擾尤其是交流磁場干擾會使得球差矯正透鏡的圖像模糊、扭曲。

4. 半導體工藝中的缺陷分析用電鏡

硅片表面玷污是影響微電子器件質量的嚴重問題。掃描電鏡可以檢查和鑒定硅片表面玷污的種類、來源。用掃描電鏡還可以檢查硅片表面殘留的涂層或均勻薄膜、可以顯示其微觀結構。

5. 納米制造領域的加工精度保證

納米科技的發(fā)展帶領納米尺度制造業(yè)的迅速發(fā)展，納米加工就是納米制造業(yè)的核心部分，納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發(fā)展起來的聚焦離子束（FIB）技術利用高強度聚焦離子束對材料進行納米加工，成為了納米級分析、制造的主要方法。但是離子束極易受到磁場的影響，無論是恒定磁場還是變化的磁場均會使得加工精度受到影響。