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INFICON SQC-310膜厚控制儀英福康真空計(jì)
INFICON SQC-310膜厚控制儀英?嫡婵沼(jì) 價(jià)格:59999  元(人民幣) 產(chǎn)地:廣東深圳市
最少起訂量:1臺(tái) 發(fā)貨地:廣東深圳市
上架時(shí)間:2021-09-17 20:41:39 瀏覽量:571
深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司  
經(jīng)營(yíng)模式:貿(mào)易公司 公司類型:私營(yíng)獨(dú)資企業(yè)
所屬行業(yè): 主要客戶:半導(dǎo)體
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:張志通 () 手機(jī):13510223365
電話: 傳真:
郵箱:2273043806@qq.com 地址:深圳市龍崗區(qū)坪地街道坪西社區(qū)越發(fā)工業(yè)區(qū)

詳細(xì)介紹

INFICON SQC-310 系列提供同類膜厚控制儀深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

高精度連續(xù)鍍膜控制或共鍍膜控制


憑借先進(jìn)的技術(shù)、完善的顯示和實(shí)惠的價(jià)格,INFICON SQC-310 系列提供同類膜厚控制儀無(wú)法企及的優(yōu)勢(shì)?梢赃x擇適合您應(yīng)用的理想型號(hào):連續(xù)鍍膜 (SQC-310) 或共鍍膜 (SQC-310C)。

功能

  • 明亮的彩色 LCD 顯示屏 - 提供英文或中文版本
  • 標(biāo)準(zhǔn) RS-232 和 USB(可選 RS-232 和以太網(wǎng))
  • 設(shè)有“Quick Setup”(快速設(shè)定)菜單、6 個(gè)區(qū)分上下文按鈕以及一個(gè)簡(jiǎn)便的參數(shù)設(shè)定旋鈕,易于設(shè)定和操作
  • 用于開(kāi)發(fā)、測(cè)試和下載過(guò)程的 Windows® 程序,以及用于將儀器數(shù)據(jù)記錄到 PC 進(jìn)行過(guò)程分析與質(zhì)量控制的 Windows 程序
  • 精確的過(guò)程控制,尤其適用于低沉積速率,測(cè)量速率為每秒 10 個(gè)讀數(shù),測(cè)量分辨率為 ±0.03 Hz
  • 存儲(chǔ)容量可達(dá) 100 個(gè)過(guò)程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
  • 使用單傳感器或多傳感器監(jiān)控源材料,提供精確的源分布監(jiān)控

零件號(hào)


規(guī)格

類型 SQC-310 SQC-310C
測(cè)量    
QCM 輸入 2 (4 optional) 4
測(cè)量頻率范圍 Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
頻率分辨率 (1) ± 0.012 Hz ± 0.012 Hz
厚度和速率分辨率/測(cè)量 (2) ±0.015 ? ±0.015 ?
頻率穩(wěn)定性 ± 2 ppm total, 0 to 50C ± 2 ppm total, 0 to 50C
測(cè)量周期 0.10 to 1.0 s (adjustable) 0.10 to 1.0 s (adjustable)
速率顯示 0.01 ?/sec 0.01 ?/sec
控制    
存儲(chǔ) 100 processes, 1000 layers, 50 films 100 processes, 1000 layers, 50 films
控制輸出 2 (4 optional) 4
輸出信號(hào) ± 0 to 10 VDC, 15 bits ± 0 to 10 VDC, 15 bits
數(shù)字輸入/繼電器 8/8 (16/16 optional) 16/16
數(shù)字輸入 5 VDC non-isolated 5 VDC non-isolated
繼電器 SPST Form 1A, 30V, 2A max SPST Form 1A, 30V, 2A max
接口 Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
遠(yuǎn)程電源控制 Optional (IPN 782-900-017) Optional (IPN 782-900-017)
顯示器    
類型 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
圖表 Rate, deviation, power or full screen numeric Rate, deviation, power or full screen numeric
一般    
功率 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
合規(guī)性 CE, RoHS CE, RoHS
Windows® 軟件 Included Included
殼體/安裝 5 1/4” half-rack 5 1/4” half-rack
(1) 0.25 秒測(cè)量間隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1,基礎(chǔ)頻率= 6 赫茲,0.25 秒測(cè)量間隔

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