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不銹鋼質(zhì)量流量計和控制器

適用于清潔、干燥的氣體
不銹鋼結(jié)構(gòu)
可帶或不帶集成顯示器
范圍從 20 SCCM 到 500 SLM 滿量程

FMA3100/3300ST 系列幾乎可以測量低至 0.4 至 20 SCCM 或高達 10 至 500 SLPM（包括氫氣）的任何清潔、干燥氣體的流速。通過利用熱質(zhì)量流量測量傳感器設計，可以獲得可重復的結(jié)果。這種經(jīng)過驗證的設計限度地減少了零漂移，同時保持了快速響應和線性輸出。壓縮管接頭提供快速的氣體連接，并與現(xiàn)有管道很好地集成。

FMA3200/3400ST 系列流量控制器可測量和控制幾乎任何清潔、干燥氣體的流速，低至 0.4 至 20 SCCM 或高達 0.2 至 10 LPM。FMA3200/3400ST 系列具有集成的 3 位數(shù)字顯示屏，用于直接在裝置上監(jiān)控流量。通過隨附的 1 m (3') 電纜進行電氣連接。需要配套電纜 (FMA3000C) 或電源適配器。請參閱下面的附件。這些裝置可帶或不帶顯示器，適用于各種應用。