VPS-P1500干式螺桿真空泵 |
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價(jià)格: 元(人民幣) | 產(chǎn)地:本地 |
最少起訂量:1 | 發(fā)貨地:本地至全國(guó) | |
上架時(shí)間:2019-06-04 07:45:17 | 瀏覽量:3 | |
威鵬晟(山東)機(jī)械有限公司
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經(jīng)營(yíng)模式:其他 | 公司類型:生產(chǎn)貿(mào)易型 | |
所屬行業(yè):軸承設(shè)備 | 主要客戶:全國(guó) | |
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聯(lián)系人:楊經(jīng)理 () | 手機(jī):15210782188 |
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最佳的極限壓力完全無(wú)油無(wú)水
干式螺桿真空泵使用了獨(dú)特的螺桿轉(zhuǎn)子型線,排氣溫度低,工藝穩(wěn)定,適用于各種領(lǐng)域的真空工藝,也維持了最佳的真空效率和耐用性。 VPS干式螺桿真空泵特征
1) 工作腔內(nèi)無(wú)水無(wú)油,通過(guò)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)產(chǎn)生清潔真空。 干式螺桿泵的應(yīng)用范圍:
在半導(dǎo)體合成及液晶生產(chǎn)上的應(yīng)用,主要有半導(dǎo)體等離子增強(qiáng)氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝,液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0,以保護(hù)工件免受污染。 |
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