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基本參數(shù)

氣體價格根據(jù)市場浮動變化，歡迎致電詳細咨詢

其他各種純度、鋼瓶包裝均有售賣，可按照客戶的要求配置。

中文名稱:三氟化氮
英文名稱:Nitrogen trifluoride
中文別名:氟化氮;
英文別名:232-007-1; trifluoroamine
CAS號:7783-54-2
分子式:NF3
分子量:71.0019

物理性質：
1.性狀：無色、帶霉味的氣體。
2.熔點（oC）：-208.5
3.沸點（oC）：-129
4.相對密度（水=1）：1.89（沸點，液體）
5.相對蒸氣密度（空氣=1）：2.45
6.臨界溫度（oC）：-39.3
7.臨界壓力（MPa）：4.53
8.溶解性：不溶于水。

VaporPhaseImpurities

氣相雜質

氣體說明

三氟化氮（nitrogen trifluoride）化學式NF3，在常溫下是一種無色、無臭、性質穩(wěn)定的氣體，是一種強氧化劑。三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，在離子蝕刻時裂解為活性氟離子，這些氟離子對硅和鎢化合物，高純三氟化氮具有優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性（對氧化硅和硅），它在蝕刻時，在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑，同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。

用途
三氟化氮主要用途是用作氟化氫－氟化氣高能化學激光器的氟源，在h2-O2 與F2之間反應能的有效部分（約25%）可以以激光輻射釋放出，所 HF-OF激光器是化學激光器中zui有希望的激光器。三氟化氮是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅蝕刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物，同時也是非常良好的清洗劑。隨著納米技術的發(fā)展和電子工業(yè)大規(guī)模的發(fā)展技術，它的需求量將日益增加。

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包裝規(guī)格