產(chǎn)品簡(jiǎn)介
品牌
| 自營(yíng)品牌 |
產(chǎn)地類別
國(guó)產(chǎn) |
應(yīng)用領(lǐng)域
| 地礦 |
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VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀是新自主研制開(kāi)發(fā)的鍍膜設(shè)備，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀配置三個(gè)靶槍，一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜，兩個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比，其不僅應(yīng)用廣泛，且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn)，是一款實(shí)驗(yàn)
詳細(xì)介紹
VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀是新自主研制開(kāi)發(fā)的鍍膜設(shè)備，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀配置三個(gè)靶槍，一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜，兩個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比，其不僅應(yīng)用廣泛，且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn)，是一款實(shí)驗(yàn)室制備材料薄膜的理想設(shè)備，特別適用于實(shí)驗(yàn)室研究固態(tài)電解質(zhì)及OLED等。
1、配置三個(gè)靶槍，一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜，兩個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜（靶槍可以根據(jù)客戶需要任意調(diào)換）。
2、可制備多種薄膜，應(yīng)用廣泛。
3、體積小，操作簡(jiǎn)便。
4、整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)，真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計(jì)，可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整。
5、可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源，可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍，也可多個(gè)電源單一控制靶槍。
| 產(chǎn)品名稱 | VTC-600-3HD雙靶磁控濺射儀
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產(chǎn)品型號(hào)
| VTC-600-3HD
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| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）
2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地
3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭）及減壓閥
4、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上
5、通風(fēng)裝置：需要
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主要參數(shù)
| 1、電源電壓：220V 50Hz
2、總功率：＜2.5KW
3、極限真空度：< E-6mbar（配合本公司設(shè)備使用可達(dá)到 E-5mbar）
4、工作溫度：RT-500℃，精度±1℃（可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度）
5、靶槍數(shù)量：3個(gè)
6、靶槍冷卻方式：水冷
7、靶材尺寸：?2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）
8、直流濺射功率：500W（可選）
9、射頻濺射功率：300W/500W（可選）
10、載樣臺(tái)：?140mm，可根據(jù)客戶需求選配加裝偏壓功能，以實(shí)現(xiàn)更高質(zhì)量的鍍膜。
11、載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速：1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)
12、保護(hù)氣體：Ar、N2等惰性氣體
13、進(jìn)氣氣路：質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣，1個(gè)流量為100 SCCM，1個(gè)流量為200 SCCM
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| 產(chǎn)品規(guī)格 | 主機(jī)尺寸：500mm×560mm×660mm，
整機(jī)尺寸：1300mm×660mm×1200mm；
重量：160kg
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| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1直流電源控制系統(tǒng)2套
2射頻電源控制系統(tǒng)1套
3膜厚監(jiān)測(cè)儀系統(tǒng)1套
4分子泵（德國(guó)進(jìn)口）1臺(tái)
5冷水機(jī)1臺(tái)
6冷卻水管（?6mm）4根
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| 可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材
掩膜版
振動(dòng)樣品臺(tái) |
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