產(chǎn)品名稱
| UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)
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產(chǎn)品型號
| UNIPOL-1203
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安裝條件
| 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：設(shè)備配有上水口及下水口，需自行連接自來水及排水
2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地
3、氣：無
4、工作臺：尺寸800mm×600mm×700mm，承重200kg以上
5、通風(fēng)裝置：不需要
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主要參數(shù)
| 主機(jī)部分
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1、電源:220V
2、功率:450W
3、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-240rpm
4、磨拋工位:2個
5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15檔
6、托盤端跳:0.008/250mm
7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm
8、載樣盤:φ105mm
9、修盤環(huán):φ127.5mm
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GPC-100A精密磨拋控制儀
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1、載樣盤直徑：?103mm
2、載樣盤軸向行程：12mm
3、數(shù)顯表精度：0.001mm
4、載樣盤可調(diào)加載壓力： 0.1kg-2.1kg
5、壓力確認(rèn)儀有效量程：1g-5000g
6、樣品裝卡方式：真空吸附
7、承載樣件尺寸：直徑≤103mm、 厚度≤12mm
8、尺寸：外徑146mm，高266mm
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自動滴料器
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SKZD-2滾筒滴料器
1、容積：1.5L
2、流量：0-35ml/min
3、尺寸：170×290×350mm；
重量：3kg
SKZD-4自動滴料器
1、加液泵：4個
2、料液瓶：600ml/瓶
3、計時范圍：1-999min
4、流量：0.1ml/min-10ml/min
5、尺寸：230×370×450mm；
重量：10kg
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產(chǎn)品規(guī)格
| 1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm
2、重量:74Kg |
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在線咨詢 
UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)，適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù)， 整機(jī)研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕，配置自動滴料器和精密磨拋控制儀，全自動觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。 
1、超平不銹鋼拋光盤（平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm）。
