| DS-2000/14G型光刻機 |
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價格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1 | 發(fā)貨地：本地至全國 | |
| 上架時間：2022-07-30 22:37:40 | 瀏覽量：13 | |
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產(chǎn)品簡介
詳細介紹 產(chǎn)品名稱：DS-2000/14G型光刻機主要技術(shù)指標：單次曝光面積：1.4mm×1mm 大曝光基片：100mm ×100mm 對準精度：±0.8μm（半自動對準） 大膠厚：300μm（SU8膠） 自動逐場對焦； 分辨力：1μm； X、Y、Z、θ四自由度電動位移臺 X、Y平移重復(fù)定位精度：0.65μm（3σ） Z向運動精度：1μm DS-2000/14G型光刻機技術(shù)特點：該機可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長的極紫外光作為光源，用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板，采用積木 錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明，并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對準系統(tǒng)（可同時使用），拼接獲得大面積圖形，曝光設(shè)定采用微機控制，菜單界面友好，操作簡便。 |
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