1.蒸發(fā)鍍膜與手套箱環(huán)境有機(jī)融合,實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測(cè)試等工藝無(wú)縫對(duì)接。 <\/p> 2.多組蒸發(fā)源,兼容有機(jī)與金屬蒸鍍,廣泛用于OLED/PLED,鈣鈦礦薄膜等研究系統(tǒng)。 <\/p> 型號(hào)<\/span><\/strong> <\/p> <\/td> ZHDS-400<\/span><\/strong> <\/p> <\/td> <\/tr> 真空腔室<\/span><\/strong> <\/p> <\/td> L400×W400×H500<\/span>,前后開門結(jié)構(gòu),SUS304<\/span>不銹鋼材質(zhì),<\/span><\/span> <\/p> <\/td> <\/tr> 真空系統(tǒng)<\/span><\/strong> <\/p> <\/td> 復(fù)合分子泵+<\/span>直聯(lián)旋片泵,超高真空插板閥,“<\/span>兩低一高”<\/span>數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)<\/span> <\/p> <\/td> <\/tr> 極限真空<\/span><\/strong> <\/p> <\/td> 優(yōu)于6.0×10-5<\/sup>Pa(<\/span>如需獲得更高的真空度可選擇進(jìn)口真空泵組)<\/span><\/span> <\/p> <\/td> <\/tr> 基片臺(tái)<\/span><\/strong> <\/p> <\/td> ≤120mm<\/span>;基片臺(tái)加熱:室溫~300℃<\/span>;基片臺(tái)旋轉(zhuǎn)及光控定位<\/span> <\/p> <\/td> <\/tr> 蒸發(fā)源<\/span><\/strong> <\/p> <\/td> 8<\/span>組蒸發(fā)源(舟式源或掛絲源,兼容有機(jī)材蒸發(fā)) <\/span><\/span><\/span> <\/p> <\/td> <\/tr> 膜厚控制<\/span><\/strong> <\/p> <\/td> 掩膜及膜厚控制系統(tǒng):定制掩膜機(jī)構(gòu)<\/span> <\/p> 采用晶振膜厚儀在線監(jiān)測(cè)、控制膜厚<\/span> <\/p> <\/td> <\/tr> 手套箱系統(tǒng)<\/span><\/strong> <\/p> <\/td> 手套箱箱體尺寸:大箱體L1800×W750×H900mm<\/span><\/span> <\/p> 箱體泄露率<0.05vol%/h<\/span>,標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境箱體內(nèi)水、氧指標(biāo)<1ppm<\/span><\/span> <\/p> <\/td> <\/tr> 控制方式<\/span><\/strong> <\/p> <\/td> 鍍膜系統(tǒng)采用手動(dòng)按鈕控制,手套箱系統(tǒng)采用PLC+<\/span>觸摸屏控制<\/span> <\/p> <\/td> <\/tr> 報(bào)警及保護(hù)系統(tǒng)<\/span><\/strong> <\/p> <\/td> 對(duì)泵、電極等缺水,過(guò)流過(guò)壓,斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施;<\/span>完善的邏輯程序互鎖保護(hù)系統(tǒng)<\/span> <\/p> <\/td> <\/tr> <\/tbody> <\/table> <\/p> <\/td> | <\/td> <\/tr> <\/tbody> <\/table><\/div>
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