ADT 977晶片清洗系統(tǒng) 晶圓清潔機(jī)出售 |
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晶片清洗系統(tǒng) 晶圓清潔機(jī)出售
主要功能:用于晶圓劃片后芯片表面殘留物的清洗,避免表面沾污、微粒影響后繼封裝工藝。 應(yīng)用領(lǐng)域:芯片切割,該設(shè)備為劃片工藝后之晶圓連同繃框置于旋轉(zhuǎn)的吸盤(pán)上面,藉真空吸盤(pán)吸住晶圓。 吸盤(pán)下方為變頻馬達(dá)用于清洗、吹干及旋干時(shí)之轉(zhuǎn)動(dòng)。 利用步進(jìn)馬達(dá)轉(zhuǎn)動(dòng)二流體噴嘴及噴氣嘴,借以噴灑清洗劑及清除切屑、雜質(zhì)及吹干水份。
晶片旋轉(zhuǎn)涂膠技術(shù) |
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