天津萬(wàn)級(jí)凈化潔凈室、凈化無(wú)塵車間 |
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1000級(jí)萬(wàn)級(jí)潔凈室萬(wàn)級(jí)凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng),拌有回流或渦流,不同等級(jí)的無(wú)塵室,主要是依靠單位時(shí)間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來(lái)實(shí)現(xiàn).。 目前有十萬(wàn)級(jí)和三十萬(wàn)級(jí)兩種標(biāo)準(zhǔn)。 (1~百萬(wàn)級(jí)) 美國(guó)209E 歐洲標(biāo)準(zhǔn)
「潔凈室」是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為「潔凈室」。 世界各國(guó)均有自定規(guī)格,但普遍還是用美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國(guó)制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。 209E與209D等之不同在于209E表示單位增加了公制單位,潔凈室等級(jí)以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合國(guó)際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化,M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示,取指數(shù)為之,若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。 美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每立方英呎為單位,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等級(jí)為Class 1,最差則為Class 8,以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方,取其指數(shù)而得。 (1)、工業(yè)潔凈室——以無(wú)生命微粒的控制為對(duì)象。主要控制空氣塵埃微粒對(duì)工作對(duì)象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。 它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。 (2)、生物潔凈室,主要控制有生命微粒(細(xì)菌)與無(wú)生命微粒(塵埃)對(duì)工作對(duì)象的污染。又可分為; A、 一般生物潔凈室,主要控制微生物(細(xì)菌)對(duì)象的污染。同時(shí)其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,內(nèi)部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例:制藥工業(yè)、醫(yī)院(手術(shù)室、無(wú)菌病房)食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。 B、 生物學(xué)安全潔凈室:主要控制工作對(duì)象的有生命微粒對(duì)外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例:細(xì)菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗(yàn)室、物物工程(重組基因、疫苗制備) 段亂流潔凈室的原理和特性 1、定義:亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動(dòng)、伴有回流或渦流的潔凈室. 2、原理:亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈的(亂流潔凈室一般設(shè)計(jì)在千級(jí)以上至30萬(wàn)級(jí)凈化級(jí)別)。 3、特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈與潔凈級(jí)別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級(jí)別(換氣次數(shù)越多,凈化級(jí)別越高) (1)、自凈時(shí)間:是指潔凈室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開(kāi)始送風(fēng)到潔凈室,室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級(jí)別的時(shí)間。 1,000級(jí)希望不超過(guò)20min(分鐘) (可取15min計(jì)算) 10,000級(jí)希望不超過(guò)30min(分鐘) (可取25min計(jì)算) 100,000級(jí)希望不超過(guò)40min(分鐘) (可取30min計(jì)算) (2)、換氣次數(shù)(按上述自凈時(shí)間要求設(shè)計(jì))1,000級(jí) 43.5—55.3次/小時(shí) (規(guī)范:50次/小時(shí)) 10,000級(jí) 23.8—28.6次/小時(shí) (規(guī)范:25次/小時(shí)) 100,000級(jí) 14.4—19.2次/小時(shí) (規(guī)范:15次/小時(shí)) 潔凈室換氣次數(shù)估算 千級(jí)潔凈室不小于50次/h; 萬(wàn)級(jí)潔凈室不小于25次/h; 十萬(wàn)級(jí)潔凈室不小于15次/h。 萬(wàn)級(jí)換氣次數(shù)[1]≥25次/小時(shí)(一般取27-28);十萬(wàn)級(jí)換氣次數(shù)≥15次/小時(shí)(一般17-18) 但是不能盲目按照換氣次數(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)風(fēng)量,要考慮房間及工藝余熱、余濕。[1] ●萬(wàn)級(jí)凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾。 ●空氣過(guò)濾器的選用布置和安裝方式,應(yīng)符合:初效空氣過(guò)濾器不應(yīng)選用浸油式過(guò)濾器;中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;高效空氣過(guò)濾器或亞高效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端,高效空氣過(guò)濾的安裝方式應(yīng)簡(jiǎn)便可靠,宜檢漏和更換;中效、亞高效、高效空氣過(guò)濾器宜按額定風(fēng)量選用;阻力、效率相近的高效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在同一凈化車間內(nèi)。 ●確定集中或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時(shí),應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)和凈化車間空氣的潔凈度等級(jí)、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、無(wú)塵室或凈化車間面積較大時(shí),位置集中以及噪聲控制和振動(dòng)控制要求嚴(yán)格的潔凈室,宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。 ●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時(shí),應(yīng)選用管狀電加熱器,位置應(yīng)布置在高效空氣過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè),并應(yīng)有防火安全措施。 ●送風(fēng)機(jī)可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇,中效、高效空氣過(guò)濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計(jì)算。 ●凈化工程中凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機(jī)的系統(tǒng)外,應(yīng)采取防止室外污染空氣通過(guò)新風(fēng)口參入凈化車間內(nèi)的防灌倒措施。 ●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng),凡工藝過(guò)程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求,或?qū)ζ渌ば蛴形:r(shí),則不應(yīng)用回風(fēng)。 |
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