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研華主板 PCA-6186
換和功率放大元件。伺服閥的靈敏度高，快速性好，能將很小的電信號（例如10毫安）轉(zhuǎn)換成很大的液壓功率（如幾十匹馬力以上），可以驅(qū)動(dòng)多種類型的負(fù)載。過去人們曾把噴嘴檔板閥、射流管或滑閥伺服馬達(dá)等液壓放大裝置都列入伺服閥范圍內(nèi)。20世紀(jì)70年代以來，伺服閥一般僅指電液伺服閥。
典型的伺服閥由永磁力矩馬達(dá)、噴嘴、檔板、閥芯、閥套和控制腔組成(見圖)。當(dāng)輸入線圈通入電流
伺服閥
伺服閥
時(shí)，檔板向右移動(dòng)，使右邊噴嘴的節(jié)流作用加強(qiáng)，流量減少，右側(cè)背壓上升；同時(shí)使左邊噴嘴節(jié)流作用減小，流量增加，左側(cè)背壓下降。閥芯兩端的作用力失去平衡, 閥芯遂向左移動(dòng)。高壓油從S流向C2，送到負(fù)載。負(fù)載回油通過 C1流過回油口，進(jìn)入油箱。閥芯的位移量與力矩馬達(dá)的輸入電流成正比，作用在閥芯上的液壓力與彈簧力相平衡，因此在平衡狀態(tài)下力矩馬達(dá)的差動(dòng)電流與閥芯的位移成正比。如果輸入的電流反向，則流量也反向。表中是伺服閥的分類。
伺服閥主要用在電氣液壓伺服系統(tǒng)中作為執(zhí)行元件（見液壓伺服系統(tǒng)）。在伺服系統(tǒng)中，液壓執(zhí)行機(jī)構(gòu)同電氣及氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)相比，具有快速性好、單位重量輸出功率大、傳動(dòng)平穩(wěn)、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)。另一方面，在伺服系統(tǒng)中傳遞信號和校正特性時(shí)多用電氣元件。因此，現(xiàn)代高性
戶對層芯更薄、層數(shù)更多背板需要帶來了對輸送系統(tǒng)截然相反兩方面要求。在有大功耗應(yīng)用卡插進(jìn)背板時(shí)，銅層厚度必須適中以便提供所需電流，保證該卡能正常工作。所有這些因素都導(dǎo)致背板平均重量增加，這樣就要求傳送帶和其它輸送系統(tǒng)必須不僅能夠安全地移送大尺寸原材料板，而且還必須把其增重事實(shí)也考慮進(jìn)去。由于背板比常規(guī)PCB要厚，且鉆孔數(shù)也多得多，因此易造成加工液流出現(xiàn)象。為盡量減少攜液量并排除導(dǎo)孔處殘留任何烘干雜質(zhì)可能性，采用高壓沖洗和空氣送風(fēng)機(jī)方法對鉆孔進(jìn)行清洗是極為重要。
由于用戶應(yīng)用要求越來越多板層數(shù)，層間對位便變得十分重要。層間對位要求公差收斂。板尺寸變大使這種收斂要求更苛刻。所有布圖工序都是在一定溫度和濕度受控環(huán)境中產(chǎn)生。曝光設(shè)備處在同一環(huán)境之中，整個(gè)區(qū)域前圖與后圖對位公差需保持為 0.0125mm需采
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