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5100系列質(zhì)量流量控制器

	價(jià)格：元(人民幣)	產(chǎn)地：日本
	最少起訂量：1件	發(fā)貨地：上海
	上架時(shí)間：2020-05-06 09:08:31	瀏覽量：1303
	上海盈熾商貿(mào)有限公司
	經(jīng)營(yíng)模式：貿(mào)易型	公司類(lèi)型：
	所屬行業(yè)：空氣泵	主要客戶：
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詳細(xì)介紹

5100系列是一款質(zhì)量流量控制器，它實(shí)現(xiàn)了無(wú)焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封的基本性能，以及半導(dǎo)體工藝氣體控制所需的±1％精度。
板載傳感器的響應(yīng)能力。它具有出色的分辨率，可以處理1 sccm（N2）的微流量。

通過(guò)使用溫度跟蹤型電流差檢測(cè)流量傳感器實(shí)現(xiàn)高精度，高速傳感器響應(yīng)

采用電磁鐵電磁閥常閉閥

由于無(wú)焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封，泄漏低

采用隔膜閥，減少死體積

面對(duì)面，體型和接線連接與其他公司的更換兼容

技術(shù)參數(shù)：

流量范圍（N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM）		1SCCM~20SLM（任意條件選擇）
傳感器方式		熱繞組傳感器

閥門(mén)方式		比例螺線管閥門(mén)（未通電時(shí)關(guān)閉）
控制范圍		2~100％（F.S.）
響應(yīng)速度		1秒內(nèi)（±2％F.S.內(nèi)）
準(zhǔn)確性		±1％F.S.
溫度系數(shù)		0.1％F.S./°C（15~35°C）
再現(xiàn)性		±0.2%F.S.
操作壓差范圍		F.S.≤5SLM50. 300kPa
		F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa
		選項(xiàng)：低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造
可工作壓力		300kPa（G）以下
耐壓		980kPa（G）
He泄漏率		1 x 10^-11 Pa.m³/s以下
允許周?chē)鷾囟?		0~50℃
允許環(huán)境濕度		10~90%RH（無(wú)結(jié)露）
氣體接觸材料		車(chē)身SUS316L
		隔膜SUS316L
		閥座PTFE
		密封材料SUS316L，Ni，Au
		選項(xiàng)：SUS密封（SU），內(nèi)部磨削規(guī)格（KP）
電氣連接		Dsub 9針KFC 標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）
流量設(shè)定輸入信號(hào)		0~5 VDC（輸入阻抗1MΩ以上）
流量輸出信號(hào)		0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上）
所需電源		+15 VDC（±5％）100 mA， -15 VDC（±5％）200 mA
配件（車(chē)身尺寸）		標(biāo)準(zhǔn)1/4 VCR等效選項(xiàng)1/4 SWL
重量		約1000g

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