半導(dǎo)體專業(yè)流量計(jì)美國ALICAT-LD12數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì) |
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半導(dǎo)體LD12系列質(zhì)量流量計(jì) 美國ALICAT-LD12系列質(zhì)量流量計(jì)-低壓降 Alicat的LD12/LKD13數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器 可快速精確地測量與控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量 和壓力,并將對(duì)系統(tǒng)可能產(chǎn)生的影響降到最低 LD12質(zhì)量流量計(jì)具有超低壓損,2SCCM最低可達(dá)0.06PSID 1000SLPM壓損最低可達(dá)0.24PSID,低壓損意味著對(duì)系統(tǒng)影響 更小、測量(<10 ms)與控制(<100ms)速度則更快。 半導(dǎo)體LD12系列質(zhì)量流量計(jì)性能參數(shù)
半導(dǎo)體LD12系列質(zhì)量流量計(jì)的電氣連接
備注:以上是標(biāo)配圓新8芯接線注解,其他接口來電詢問半導(dǎo)體LD12系列質(zhì)量流量計(jì) 流量計(jì)的壓損、管路接口 流量 壓損(PSID),排放大氣中 接口 0.5-2SCCM 0.06 1/8NPT母螺紋 5-20SCCM 0.07 50SCCM 0.07 100-200SCCM 0.06 500SCCM 0.07 1-5SLPM 0.07 10SLPM 0.08 1/4NPT母螺紋 20SLPM 0.25 40SLPM 0.12 1/2NPT母螺紋 50SLPM 0.14 100SLPM 0.24 250SLPM 0.60 500SLPM 0.39 3/4NPT母螺紋 1000SLPM 0.24 2”NPT母螺紋 使用注意 一:進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干凈《不能進(jìn)水/油、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。 二:用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測時(shí),只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。 三:安裝前,請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。 四:需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候,確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下、設(shè)定值是0的狀態(tài) 再操作。 五:工作壓力最大3bar;壓差最大1bar。
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