| 全自動擴散爐 |
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價格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1 | 發(fā)貨地：本地至全國 | |
| 上架時間：2020-04-22 06:58:58 | 瀏覽量：86 | |
青島育豪微電子設(shè)備有限公司
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| 經(jīng)營模式：其他 | 公司類型： | |
| 所屬行業(yè)：其他儀器儀表分類 | 主要客戶：全國 | |
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§擴散爐應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池及大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)M行擴散、氧化、淀積、退火及合金等工藝的熱加工設(shè)備
.主要由加熱爐、凈化工作臺、推拉舟系統(tǒng)、氣源柜、控制系統(tǒng)等組成。采用高精度智能化及性能極為先進的儀器，適合連續(xù)長時間、高精度、高穩(wěn)定度控溫工作，性能十分可靠。
§全自動程控擴散爐 §具有可編程的升、降溫功能 §可保存多條工藝曲線，每條曲線可設(shè)置多步。 ★工藝曲線的自動運行控制功能。 ★自動運行中可暫停/繼續(xù)運行功能。 ★工藝中可強制跳到下一個工藝步運行功能。 ★智能升降溫斜率制功能。 ★pid參數(shù)自整定功能。 ★系統(tǒng)故障的檢測與報警功能。 ★智能懸臂推拉舟控制功能。 ★停電后斷點繼續(xù)運行功能。 ★工藝氣體的程序控制功能（電磁閥/質(zhì)量流量控制器）。 ★可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開發(fā)相應(yīng)的功能。 主要技術(shù)指標(biāo)： ★工作溫度范圍：300℃-1300℃； ★恒溫區(qū)長度范圍：300mm-800mm； ★恒溫區(qū)精度范圍：600℃-1300℃≤±0.5℃； 300℃-600℃≤±1℃ ★開機重復(fù)性：±1℃ ★升溫時間：60min； ★溫速率可控范圍：爬升率20℃m（大）下降率5℃/min（大） 
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