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實現(xiàn)非接觸，高速和高精度測量

多用途型，  測量范圍從1mm - 60mm。
高測量精度，在全測量范圍內(nèi)達±3um。在窄測量范圍內(nèi)達±(1.5+0.5ΔD)um高測量精度。
高重復精度達±0.36um。

技術參數(shù)
測量范圍：             1—60mm
分辨率：                0.00005一0.1mm可選
20℃時的直線度*：  寬范圍：±3.0um
                            窄范圍：±(1.5+0.5ΔD)um
重復精度(±2σ)：    ±0.36um
定位誤差**：         ±4um
測量區(qū)域：             20x60mm
激光波長：             650nm，可見光
掃描速率：             3200 scans/s
激光掃描速度：       452m/s
激光適用標準：       IEC，F(xiàn)DA (544-538)，JIS (544-537)
*在測量區(qū)域中心
**在測量區(qū)域中由于工件定位的變化造成可能的測量錯誤