標(biāo)準(zhǔn)型真空直線導(dǎo)入器是超高真空環(huán)境下直線傳輸樣品的重要裝置；該真空直線導(dǎo)入器的真空密封采用高品質(zhì)的焊接波紋管進(jìn)行軸向密封，保證十萬次以上的循環(huán)使用，軸向驅(qū)動力可達(dá)到150N，在保證超高真空密封的同時，通過手動調(diào)節(jié)手輪，實現(xiàn)高精度的直線驅(qū)動，精確位置控制，也可和步進(jìn)電機(jī)（本產(chǎn)品采用閉環(huán)伺服步進(jìn)電機(jī)）組合，實現(xiàn)電控操作性能，具有控制精度高、傳動平穩(wěn)、恒力矩等特點；本產(chǎn)品采用精密絲桿實現(xiàn)無間隙傳動，重復(fù)定位精度高，傳動精度可達(dá)到0.01mm（默認(rèn)精度為0.02mm）；可根據(jù)客戶的具體規(guī)格和應(yīng)用來定制不同驅(qū)動長度、不同連接方式和驅(qū)動精度。
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主要參數(shù) |
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適用范圍： |
105～5x10-7Pa |
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真空漏率： |
≤1x10-9Pa.m3/s |
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適用溫度： |
-30～200℃ |
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驅(qū)動方式： |
手動或電機(jī)驅(qū)動 |
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驅(qū)動方向： |
直線 |
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安裝狀態(tài)： |
任意方向 |
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連接方式： |
CF法蘭或客戶指定 |
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主要材料 |
不銹鋼304 |
